英?？礗NFICON  半導(dǎo)體殘余氣體分析儀

英?？礗NFICON  半導(dǎo)體殘余氣體分析儀

 Transpector® XPR 3+

質(zhì)譜儀Transpector® XPR 3+

擴(kuò)大的壓力范圍 RGA - 傳感化創(chuàng)新

監(jiān)測并控制快速過程變化

新的 Transpector XPR 3+ 殘余氣體分析儀 (RGA) 提供 的測量速度，以監(jiān)測并控制現(xiàn)代半導(dǎo)體和顯示屏生產(chǎn)所需的快速過程變化。Transpector XPR 3+ 非常適合于現(xiàn)場空氣漏點(diǎn)、氣體純度、碳?xì)浠衔锖臀廴颈O(jiān)測。相比定期上升率測試，Transpector XPR 3+ 進(jìn)行的實(shí)時測量可提供 的產(chǎn)品保護(hù)

通過 工具使用時間促進(jìn)盈利能力

Transpector XPR 3+ RGA 是用于濺射壓力范圍應(yīng)用的經(jīng)實(shí)踐驗(yàn)證的四極和雙離子源傳感器。無需壓力轉(zhuǎn)換設(shè)備，部件使用壽命長，能快速檢測并診斷問題，從而 工具可用性、產(chǎn)品吞吐量和產(chǎn)量。傳感器可在高真空到 20 mTorr 范圍連續(xù)工作，無需泵。Transpector XPR 3+ 雙離子源腔室設(shè)計用于限制涂層，以保持離子源靈敏度，并延長傳感器平均維護(hù)時間。

優(yōu)勢

從高真空到 PVD 流程壓強(qiáng)條件下，能夠高靈敏度地檢測空氣泄漏和污染，實(shí)時保護(hù)晶圓和面板

  PM 效率和工具正常使用時間，具有快速可靠的腔室條件

通過延長使用壽命、防污染、雙離子源設(shè)計最小化總體擁有成本；無需泵，即可監(jiān)測高達(dá) 20 mTorr 的壓強(qiáng)。低壓 EM 變體可提供成本敏感的替代選擇

通過強(qiáng)大數(shù)據(jù)采集與同步實(shí)現(xiàn)無縫工廠集成和可靠阻斷

通過定制配方優(yōu)化增強(qiáng) 生產(chǎn)能力

通過即時現(xiàn)場專家響應(yīng)保護(hù)關(guān)鍵過程需求

典型應(yīng)用

PVD 和濺射過程模塊

預(yù)清洗模塊

非群集 PVD 工具

夾鉗式除氣模塊

技術(shù)規(guī)格

質(zhì)量位置穩(wěn)定性 <0.1 amu over 24 hours 

  靈敏度（FC 模式） ≥4E-7 amps/Torr (3E-7 amps/mbar) 

  靈敏度（標(biāo)稱） ≥8E-3 amps/Torr (3E-3 amps/mbar) 

  最小可檢測分壓（FC 模式） ≤1E-9 Torr (1.3E-9 mbar) 

  最小可檢測分壓（EM 模式） ≤6E-12 Torr (8E-12 mbar) 

  最大工作壓力（FC 或 EM 模式） 20 mTorr (2.6E-2 mbar) 

  最大工作壓力（線性操作） 10 mTorr (1.3E-2 mbar) 

下載

選擇語言

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手冊

Transpector XPR 3+ Brochurepdf•1,5 MB•英文•手冊

手冊

3D Step Files

該產(chǎn)品被用于以下市場

分析儀器

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電池

從電極生產(chǎn)到生產(chǎn)線終端EOL終端的測試

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顯示器

INFICON匯聚 科技，實(shí)現(xiàn)*高質(zhì)量的顯示器產(chǎn)品

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能源

傳統(tǒng)的石油和天然氣生產(chǎn)在過去幾十年中出現(xiàn)了需求的增長，并被發(fā)展中國家的人口增長、城市化和中產(chǎn)階級的消費(fèi)所推動。

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工業(yè)制造

其中，真空技術(shù)大多用于保證清潔的環(huán)境，并且在某些過程中需要維持真空以確保過程順利實(shí)施。

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移動和汽車

在一個不斷發(fā)展的行業(yè)中進(jìn)行可靠的泄漏測試 。 汽車行業(yè)的變化使泄漏檢測變得更加重要。

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醫(yī)藥和醫(yī)療

提高生產(chǎn)力，幫助滿足制藥業(yè)的合規(guī)標(biāo)準(zhǔn)和質(zhì)量要求

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研究與學(xué)術(shù)

通過基礎(chǔ)研究揭開宇宙最深層的神秘面紗。今天的創(chuàng)新為您明天的技術(shù)研發(fā)提供動力

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半導(dǎo)體IDM和晶圓代工廠

為支持廣泛的應(yīng)用而定制的傳感器，確保產(chǎn)品安全、提高產(chǎn)量和*高生產(chǎn)力。

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真空鍍膜

真空鍍膜市場遠(yuǎn)遠(yuǎn)超出了光學(xué)領(lǐng)域，正在迅速擴(kuò)展到十年前幾乎無法想象的領(lǐng)域、行業(yè)和薄膜層。

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了解我們使用 Transpector 進(jìn)行的研究項(xiàng)目

應(yīng)用

31 Jul 2024

利用先進(jìn)傳感技術(shù)增強(qiáng)自主機(jī)器人技術(shù)

集成先進(jìn)傳感系統(tǒng)

公司

26 Apr 2024

通過原位校準(zhǔn)加強(qiáng)水下質(zhì)譜儀在

                                                                                             法語

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SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林時計、NPM日脈

NS日本科學(xué)、DRY-CABI東利繁、TOKISANGYO東機(jī)

SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt寫真化學(xué)、NIPPON GEAR日本齒輪

NIDEC尼得科、MIYACHI天田、TORAY 東麗 watson沃森  RIYYO理陽

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