產(chǎn)品概述

ZYGO Qualifire系列是美國ZYGO公司推出的高性能激光干涉儀產(chǎn)品，專為光學(xué)元件和光學(xué)系統(tǒng)的快速、精確測量而設(shè)計。作為全球光學(xué)計量領(lǐng)域的，ZYGO的Qualifire系列結(jié)合了優(yōu)良的激光干涉技術(shù)和用戶友好的操作界面，為光學(xué)制造、科研和質(zhì)量控制提供了可靠的測量解決方案。美國ZYGOQualifire干涉儀

核心技術(shù)與特點

1. 高精度測量能力

• 采用穩(wěn)定的He-Ne激光源，波長穩(wěn)定性達(dá)±0.05ppm

• 波前測量精度優(yōu)于λ/20 (λ=632.8nm)

• 相位測量分辨率達(dá)到λ/1000

2. 模塊化設(shè)計

• 可配置多種傳輸鏡頭和適配器

• 支持平面、球面和非球面光學(xué)元件的測量

• 靈活的系統(tǒng)擴展能力，可集成自動對準(zhǔn)系統(tǒng)

3. 快速測量

• 的動態(tài)干涉技術(shù)(Dynamic Interferometry®)

• 單次采集時間可短至1/60秒

• 振動不敏感設(shè)計，適合生產(chǎn)車間環(huán)境

4. 智能分析軟件

• MetroPro®專業(yè)分析軟件平臺

• 自動化測量流程和報告生成

• 符合ISO和MIL標(biāo)準(zhǔn)的數(shù)據(jù)分析功能

主要應(yīng)用領(lǐng)域

• 光學(xué)制造：透鏡、反射鏡、棱鏡等光學(xué)元件的面形檢測

• 精密工程：機械零件平面度、平行度測量

• 半導(dǎo)體工業(yè)：光刻機光學(xué)系統(tǒng)檢測

• 科研機構(gòu)：天文望遠(yuǎn)鏡、激光系統(tǒng)等大型光學(xué)裝置檢測

• 質(zhì)量控制：生產(chǎn)線上的快速光學(xué)元件檢測

產(chǎn)品系列

Qualifire系列包含多個型號，滿足不同應(yīng)用需求：

1. Qualifire® Classic：基礎(chǔ)型號，適用于大多數(shù)平面和球面光學(xué)檢測

2. Qualifire® Asphere：配備專用軟件和硬件，支持非球面測量

3. Qualifire® IR：紅外版本，支持中紅外光學(xué)元件檢測

4. Qualifire® Fizeau：斐索型干涉儀，用于高精度絕對測量

技術(shù)優(yōu)勢

ZYGO Qualifire系列相比傳統(tǒng)干涉儀具有顯著優(yōu)勢：

1. 環(huán)境適應(yīng)性：優(yōu)良的振動補償技術(shù)，降低了對隔震平臺的要求

2. 操作簡便：直觀的用戶界面，縮短了操作人員培訓(xùn)時間

3. 測量效率：快速采集和分析能力，大幅提高檢測吞吐量

4. 數(shù)據(jù)可靠性：經(jīng)過驗證的測量算法，確保數(shù)據(jù)的一致性和可追溯性

服務(wù)與支持

ZYGO為Qualifire用戶提供全面的技術(shù)支持：

• 全球服務(wù)網(wǎng)絡(luò)

• 定期校準(zhǔn)服務(wù)

• 軟件升級和維護

• 應(yīng)用工程師技術(shù)支持

結(jié)語

ZYGO Qualifire激光干涉儀代表了現(xiàn)代光學(xué)計量技術(shù)的優(yōu)良水平，其的性能和可靠性使其成為光學(xué)制造和質(zhì)量控制領(lǐng)域的理想選擇。無論是研發(fā)實驗室還是批量生產(chǎn)環(huán)境，Qualifire系列都能提供精確、高效的測量解決方案，幫助用戶提升產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率。美國ZYGOQualifire干涉儀