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CYR-E-HF 電子級(jí)氫氟酸濃度計(jì) SEMIG5級(jí)在線智能檢測(cè)
參考價(jià) | ¥ 9999 | ¥ 8888 |
訂貨量 | 1-9套 | ≥10套 |
- 公司名稱 湖南楚一機(jī)電有限公司
- 品牌 楚一測(cè)控
- 型號(hào) CYR-E-HF
- 產(chǎn)地 湖南長(zhǎng)沙
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/8/12 17:00:59
- 訪問(wèn)次數(shù) 23
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主營(yíng)產(chǎn)品:在線濃度計(jì),濃度在線光電折光儀,在線濃度測(cè)定儀,溶液在線濃度儀,在線濃度折光儀,濃度在線檢測(cè)儀,在線濃度檢測(cè)儀,在線折光儀,在線濃度測(cè)量?jī)x,濃度在線監(jiān)測(cè)儀,濃度在線監(jiān)控自動(dòng)配液設(shè)備,在線濃度測(cè)試儀。
測(cè)量范圍 | 0-55% | 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) |
---|---|---|---|
產(chǎn)品種類 | 在線 | 價(jià)格區(qū)間 | 5千-1.5萬(wàn) |
數(shù)顯功能 | 有 | 溫控功能 | 有 |
應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,食品/農(nóng)產(chǎn)品,化工,農(nóng)林牧漁,綜合 | 測(cè)量項(xiàng)目 | 折射率、溫度、濃度 |
分 辨 率 | 0.01% | 重復(fù)精度 | ± 0.02% |
測(cè)量溫度 | 0至130℃ | 溫度補(bǔ)償 | 0至130℃ |
觸液面材質(zhì) | 超純PTFE或PFA | 防護(hù)等級(jí) | IP65 |
工藝壓力 | ≤1MPa | 安裝選項(xiàng) | 1/2英寸管路安裝 |
輸入電源 | DC 24V 或 AC 220V |
電子級(jí)氫氟酸是半導(dǎo)體、集成電路、液晶顯示器(LCD)、太陽(yáng)能電池等微電子行業(yè)中的關(guān)鍵化學(xué)品。它是一種超高純度的氫氟酸水溶液,用于:
清洗與刻蝕:清除晶圓表面的氧化物、金屬雜質(zhì)、有機(jī)污染物,并刻蝕硅、二氧化硅、氮化硅等材料。
拋光:改善晶圓表面平整度,提高器件性能。
調(diào)整摻雜:在一些工藝中用于調(diào)整硅片的摻雜濃度。
電子級(jí)氫氟酸的濃度須準(zhǔn)確控制,偏離目標(biāo)值會(huì)帶來(lái)嚴(yán)重問(wèn)題:
濃度過(guò)高會(huì)導(dǎo)致過(guò)度刻蝕,造成器件尺寸偏差甚至損壞,還會(huì)腐蝕設(shè)備管道和容器,帶來(lái)安全隱患和經(jīng)濟(jì)損失,并增加高濃度HF廢液的處理難度,導(dǎo)致成本高昂。而濃度過(guò)低則會(huì)導(dǎo)致清洗效果差,無(wú)法有效去除污染物,影響器件性能,同時(shí)刻蝕速率慢,延長(zhǎng)工藝時(shí)間,降低生產(chǎn)效率,導(dǎo)致產(chǎn)品質(zhì)量下降,甚至報(bào)廢,增加產(chǎn)品報(bào)廢率。
傳統(tǒng)的人工滴定、化學(xué)分析等檢測(cè)方法存在以下不足:
耗時(shí)費(fèi)力:需要人工取樣、化驗(yàn),過(guò)程繁瑣。
滯后性:無(wú)法實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)濃度變化,容易造成偏差。
人為誤差:存在操作誤差,影響檢測(cè)精度。
安全性問(wèn)題:人工接觸HF有安全風(fēng)險(xiǎn)。
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
電子級(jí)氫氟酸濃度計(jì)采用分體式設(shè)計(jì),有濃度傳感器和多功能主機(jī)組成,通過(guò)傳感器測(cè)量,多功能主機(jī)顯示及控制。
傳感器采用超純PFA/PTFE流通池結(jié)構(gòu)結(jié)合大面積藍(lán)寶石光學(xué)棱鏡,通過(guò)長(zhǎng)期技術(shù)積累和攻關(guān)研發(fā),解決了半導(dǎo)體行業(yè)濕電子化學(xué)品濃度在線測(cè)控類產(chǎn)品的“卡脖子”問(wèn)題。
電子級(jí)氫氟酸濃度計(jì)具有高精度、SEMIG5級(jí)、耐高溫、長(zhǎng)壽命光源、光強(qiáng)自調(diào)節(jié)、恒溫探測(cè)器等特點(diǎn)。儀表無(wú)需樣品預(yù)處理,無(wú)需試劑耗材,秒量級(jí)的快速測(cè)量,讓企業(yè)實(shí)時(shí)掌握生產(chǎn)動(dòng)態(tài)。在檢測(cè)過(guò)程中無(wú)機(jī)械動(dòng)作,確保長(zhǎng)期使用穩(wěn)定。儀表采用長(zhǎng)達(dá)10萬(wàn)小時(shí)的超長(zhǎng)壽命光源,檢測(cè)過(guò)程無(wú)機(jī)械動(dòng)作,確保長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行,降低維護(hù)成本。全平面結(jié)構(gòu)的檢測(cè)棱鏡,避免藏污納垢。出廠校準(zhǔn)和自動(dòng)溫度補(bǔ)償,讓您直接投入使用,無(wú)需繁瑣設(shè)置。還支持上位機(jī)通訊,4-20mA&RS485信號(hào)輸出、報(bào)警及控制等開關(guān)量信號(hào)輸出,支持?jǐn)?shù)據(jù)建模功能,可定制數(shù)據(jù)模型。
應(yīng)用場(chǎng)景
HF配液系統(tǒng):實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)配液濃度,確保配液精度。
清洗槽:實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)清洗液濃度,控制清洗效果。
刻蝕槽:實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)刻蝕液濃度,控制刻蝕速率。
廢液處理系統(tǒng):監(jiān)測(cè)廢液濃度,優(yōu)化處理工藝。
HF儲(chǔ)罐:監(jiān)測(cè)儲(chǔ)罐內(nèi)HF濃度,確保質(zhì)量。
技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品型號(hào) | CYR-E-HF |
測(cè)量項(xiàng)目 | 折射率、溫度、濃度 |
測(cè)量范圍 | 0-55% |
分 辨 率 | 0.01% |
重復(fù)精度 | ± 0.02% |
測(cè)量溫度 | 0至130℃ |
溫度補(bǔ)償 | 0-130℃ |
關(guān)鍵材質(zhì) | 觸液面材質(zhì):超純PTFE或PFA;外殼:襯氟 |
棱鏡材質(zhì) | 光學(xué)級(jí)藍(lán)寶石 |
信號(hào)輸出 | DC4至20mA & RS485;2路開關(guān)量信號(hào)輸出 |
輸入電源 | DC 24V 或 AC 220V |
防護(hù)等級(jí) | IP65 |
工藝壓力 | ≤1MPa(10Bar)更高壓力等級(jí)可定制 |
尺寸重量 | 傳感器:¢119 * 188mm / 約2.0KG |
安裝選項(xiàng) | 1/2英寸管路安裝 |
其他功能 | 多功能主機(jī)操作面板可查看濃度、溫度、折射率等數(shù)據(jù) 支持故障碼提示、一鍵校零、恢復(fù)出廠設(shè)置、曲線記錄及數(shù)據(jù)導(dǎo)出等功能 |
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