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MCS 系列性能

• 量程范圍：0.5 SCCM 至 12,000 SLPM

• 控制范圍：滿量程的 1% – 100%

• 標(biāo)準(zhǔn)精度，NIST 可溯源：±（讀數(shù)的 0.8% + 滿量程的 0.2%）

• 可選高精度，NIST 可溯源：±（讀數(shù)的 0.4% + 滿量程的 0.2%）

• 重復(fù)性：±0.2% F.S.

• 響應(yīng)時(shí)間：快至 30 ms

• 預(yù)熱時(shí)間：<1 s

MCS 系列工作條件

• 兼容氣體：多達(dá) 130 種預(yù)加載的可選氣體；可使用 COMPOSER™ 定義的其他混合物

• 溫度：–10°C 至 +60°C

• 壓力：160 PSIA

• 壓差：<75 PSID

• 耐壓：175 PSIA

• 用戶可選擇的參考條件（默認(rèn)）：25°C & 1 ATM (STP) 和 0°C & 1 ATM (NTP)

每個(gè)設(shè)備包含

• 多變量過(guò)程測(cè)量：同時(shí)測(cè)量質(zhì)量流量、體積流量、氣體壓力和氣體溫度。

• 用戶可更改的測(cè)量單位：從我們廣泛的工程單位列表中更改壓力、流量或溫度的測(cè)量單位。

• 氣體可選性：從我們氣體列表中的 98 多種預(yù)加載 NIST 可溯源氣體校準(zhǔn)中選擇您的工藝氣體。

• Gas Select COMPOSER™：使用我們的 Gas Select Composer™ 固件定義多達(dá) 5 種成分氣體的 20 種自定義氣體混合物。

• 帶集成觸摸板的單色背光 LCD：使用背光顯示屏和控制配置以及用戶友好的集成觸摸板輕松讀取測(cè)量值。

• 用戶可調(diào)節(jié)的設(shè)定值斜坡和限制：可配置的斜坡速率允許根據(jù)需要控制過(guò)程變量的速度或速度，可配置的設(shè)定值限制可保護(hù)過(guò)程免受無(wú)意的設(shè)定值更改。

• 用戶可調(diào)節(jié)標(biāo)準(zhǔn)溫度和壓力 (STP) 條件：快速更改參考條件，無(wú)需重新校準(zhǔn)。

• 閥門關(guān)閉覆蓋和閥門打開(kāi)覆蓋：利用警報(bào)快速排放系統(tǒng)或根據(jù)需要停止所有流量。

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•  集成累加器和批次控制：每 1 毫秒?yún)R總一次質(zhì)量流量，以便隨著時(shí)間的推移精確跟蹤總流量，并使用批次控制來(lái)分配精確的體積。

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• 可選的集成電位器控制：使用集成電位器只需轉(zhuǎn)動(dòng)旋鈕即可調(diào)整設(shè)定點(diǎn)。

組成和性能選項(xiàng)

• 通訊協(xié)議：模擬、RS–232、RS–485、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Modbus RTU 或 TCP/IP、PROFIBUS

• 顯示屏：背光單色或彩色；集成或面板安裝

• 過(guò)程連接：NPT、SAE、AN、BSPP/G、壓縮、VCR 或 VCO 接頭

• 接液材質(zhì)：316L/303/430FR不銹鋼； FFKM 標(biāo)準(zhǔn)、FKM 或 EPDM（根據(jù)需要用于某些氣體）

• 校準(zhǔn)：高精度；自定義校準(zhǔn)點(diǎn)

閥門選項(xiàng)和 PID 調(diào)節(jié)

您的質(zhì)量流量控制器可以使用以下閥門選項(xiàng)之一進(jìn)行定制，以確保在您預(yù)期的過(guò)程條件下獲得理想性能。

• MC：用于 20 SLPM 及以下流量范圍的小型比例控制閥

• 帶有 PCA 名稱的 MC：高性能比例控制閥，用于極腐蝕性氣體和更高壓力的應(yīng)用

• MCH：錘頭配置，將兩個(gè)并排工作的小閥門配對(duì)為一個(gè)閥門

• MCR：幾乎無(wú)摩擦的大型 Rolamite 比例閥，流量為 50 SLPM 及以上

注意：有些氣體（包括 SO2 和 Cl2）需要帶有 PCA 名稱的 MC。

定制 PID 閥門調(diào)節(jié)可確保在您的特定過(guò)程條件下發(fā)揮理想性能。