HTE-510-EHC 平行光露光裝置
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 桂寧（上海）實驗器材有限公司
- 品牌
- 型號 HTE-510-EHC
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2025/8/14 19:30:03
- 訪問次數(shù) 55
產(chǎn)品標(biāo)簽
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工件尺寸：150mm x 150mm厚度約0.1~1.0 mm
光學(xué)性能：超高壓汞燈1kW（風(fēng)冷式），波長約300~470nm（主波長365,405,436 nm）
：紫外線照度約40mw/cm^2初始值（@365nm），照度分布90%以上光線平行度：準(zhǔn)直半角≤1.5°，偏角≤1.0°
曝光快門：氣動快門打開/關(guān)閉方式
曝光量管理：基于積分光度計（管理波長365nm），具有20通道存儲功能
面具（基本）：玻璃面具□8英寸厚度3.0毫米或5.0毫米（可更改）
曝光臺：吸附式工作臺，前后可移動，內(nèi)置真空泵
上邊框類型：玻璃掩模專用邊框和聚酯薄膜邊框可供選擇
公用設(shè)施：電源3相200V 50/60Hz，斷路器開關(guān)30A，10.5 KVA：氣壓約0.5 Mpa
：排氣約8m^3/min
外形尺寸：(W)800mm x(D)1470mm x(H)1915mm
光學(xué)性能：超高壓汞燈1kW（風(fēng)冷式），波長約300~470nm（主波長365,405,436 nm）
：紫外線照度約40mw/cm^2初始值（@365nm），照度分布90%以上光線平行度：準(zhǔn)直半角≤1.5°，偏角≤1.0°
曝光快門：氣動快門打開/關(guān)閉方式
曝光量管理：基于積分光度計（管理波長365nm），具有20通道存儲功能
面具（基本）：玻璃面具□8英寸厚度3.0毫米或5.0毫米（可更改）
曝光臺：吸附式工作臺，前后可移動，內(nèi)置真空泵
上邊框類型：玻璃掩模專用邊框和聚酯薄膜邊框可供選擇
公用設(shè)施：電源3相200V 50/60Hz，斷路器開關(guān)30A，10.5 KVA：氣壓約0.5 Mpa
：排氣約8m^3/min
外形尺寸：(W)800mm x(D)1470mm x(H)1915mm
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