Sensofar S lynx 光學(xué)輪廓儀表面測量新維度
參考價 | ¥ 800000 |
訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱 北京儀光科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產(chǎn)地 西班牙
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2025/8/15 11:01:15
- 訪問次數(shù) 25
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產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 石油,能源,電子/電池,鋼鐵/金屬,綜合 |
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一、產(chǎn)品概覽:工業(yè)與科研的“微觀之眼”
作為西班牙Sensofar公司推出的新一代非接觸式3D表面光學(xué)輪廓儀,S lynx系列以“三合一測量技術(shù)”為核心,融合白光干涉、共聚焦成像與AI多焦面疊加三大功能,覆蓋從納米級光滑表面到微米級粗糙結(jié)構(gòu)的全尺度測量需求。其緊湊設(shè)計(整機(jī)尺寸420mm×380mm×580mm,重量不足35kg)與模塊化結(jié)構(gòu),可靈活部署于潔凈車間、實驗室或生產(chǎn)線,成為半導(dǎo)體、汽車制造、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域的“形貌分析利器”。Sensofar S lynx 光學(xué)輪廓儀表面測量新維度Sensofar S lynx 光學(xué)輪廓儀表面測量新維度
二、產(chǎn)品性能:技術(shù)突破定義
三重測量技術(shù)協(xié)同
白光干涉模式:針對Ra<10nm的超光滑表面(如半導(dǎo)體晶圓、光學(xué)鏡片),垂直分辨率達(dá)0.1nm,可精準(zhǔn)捕捉納米級缺陷與形貌變化。
共聚焦成像模式:通過針孔濾波排除離焦光干擾,橫向分辨率達(dá)0.09μm,適用于金屬加工件、陶瓷涂層等中等粗糙度表面的紋理與形貌復(fù)合分析。
AI多焦面疊加技術(shù):針對Ra>1μm的粗糙表面(如3D打印構(gòu)件、地質(zhì)樣本),通過深度學(xué)習(xí)算法融合多焦面圖像,在10mm垂直行程內(nèi)保持0.5μm重復(fù)性精度,測量效率較傳統(tǒng)方法提升3倍。
動態(tài)范圍與效率平衡
電動XY平臺行程達(dá)125mm×75mm,支持高精度傾斜調(diào)整(角度分辨率0.001°),可自動完成樣品定位與調(diào)平。
傳感器頭內(nèi)嵌計算單元,數(shù)據(jù)預(yù)處理效率提升40%,搭配SensoVIEW 2.0軟件,實現(xiàn)ISO 25178、ASA S2等20余種國際標(biāo)準(zhǔn)參數(shù)計算,并支持?jǐn)?shù)字孿生映射與MES/ERP系統(tǒng)無縫對接。
三、核心參數(shù)與技術(shù)規(guī)格
參數(shù)項 | S lynx 2型號 |
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測試范圍 | 125mm×75mm(電動平臺) |
垂直分辨率 | 0.1nm(白光干涉模式) |
橫向分辨率 | 0.09μm(共聚焦模式) |
最大斜率測量 | 86°(粗糙表面) |
物鏡可選范圍 | 2.5×-100×(支持手動/電動切換) |
數(shù)據(jù)處理速度 | 共聚焦模式9幀/秒,明場模式30幀/秒 |
軟件功能 | SensoSCAN(基礎(chǔ)分析)、SensoMAP/PRO(高階分析) |
四、用材與工藝:工業(yè)級耐用性保障
光學(xué)系統(tǒng):采用德國肖特光學(xué)玻璃與日本濱松LED光源,確保光路穩(wěn)定性與色彩還原度。
機(jī)械結(jié)構(gòu):航空級鋁合金框架搭配大理石基座,抗振動干擾能力提升50%,適應(yīng)復(fù)雜工業(yè)環(huán)境。
防護(hù)設(shè)計:IP54防護(hù)等級,防塵防水濺,關(guān)鍵部件(如物鏡、電動平臺)采用密封設(shè)計,延長使用壽命。
五、應(yīng)用場景:跨行業(yè)解決方案
半導(dǎo)體制造:檢測晶圓表面亞表面損傷層厚度,評估刻蝕均勻性與側(cè)壁粗糙度。
新能源電池:非接觸式測量極片涂層厚度一致性,避免探針劃傷風(fēng)險,支持米級長度在線全檢。
生物醫(yī)學(xué):分析人工關(guān)節(jié)羥基磷灰石涂層的孔隙率與結(jié)晶度,預(yù)測植入物壽命。
汽車工程:測量發(fā)動機(jī)缸體、渦輪葉片的表面粗糙度,優(yōu)化摩擦性能與耐久性。
六、包裝與運輸:安全無憂的交付體驗
定制化包裝:采用高密度泡沫內(nèi)襯與防震木箱,通過ISTA 3A運輸測試標(biāo)準(zhǔn),確保設(shè)備在長途運輸中免受沖擊。
配件清單:包含標(biāo)準(zhǔn)物鏡套裝(5×/10×/50×)、校準(zhǔn)樣塊、SensoSCAN軟件授權(quán)、操作手冊與快速指南。
七、使用說明:從開箱到測量的全流程支持
安裝調(diào)試:由Sensofar認(rèn)證工程師提供現(xiàn)場安裝與光路校準(zhǔn)服務(wù),確保設(shè)備達(dá)到出廠精度標(biāo)準(zhǔn)。
操作培訓(xùn):通過線上課程與線下實操結(jié)合,覆蓋軟件參數(shù)設(shè)置、測量模式選擇、數(shù)據(jù)分析報告生成等全流程。
維護(hù)指南:提供每日清潔、季度校準(zhǔn)、年度保養(yǎng)的標(biāo)準(zhǔn)化流程,延長設(shè)備使用壽命。
結(jié)語:S lynx——讓微觀世界觸手可及
從晶圓廠的納米級缺陷檢測到汽車生產(chǎn)線的表面質(zhì)量管控,Sensofar S lynx以“精準(zhǔn)、高效、智能”重新定義表面測量標(biāo)準(zhǔn)。其三合一技術(shù)架構(gòu)與工業(yè)級設(shè)計,不僅滿足當(dāng)前制造需求,更通過數(shù)字孿生與AI集成,為工業(yè)4.0時代的智能化轉(zhuǎn)型提供核心數(shù)據(jù)支撐。選擇S lynx,即是選擇一個更精密、更可靠的微觀世界探索伙伴。Sensofar S lynx 光學(xué)輪廓儀表面測量新維度