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微型 紫外 可見 光譜儀
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*蘇州生物醫(yī)學工程技術研究所醫(yī)用微納技術研究室以生物傳感技術為重點,以微機電系統(tǒng)(MEMS)技術為手段,積極探索微量、低成本、高靈敏度生物檢測各種前沿方法。先后承擔過中科院創(chuàng)新項目、江蘇省科技支撐工業(yè)類項目等多個研究項目,正在籌建300多平方米超凈環(huán)境,將引進納米光刻、噴膠、多層鍵合、兆聲清洗等上*的MEMS工藝設備,將開展LIGA和體硅工藝技術。目前開展了微型光譜儀、聲波傳感器、光纖傳感器、納米技術等方面的研究工作,并取得了多項具有自主知識產權的創(chuàng)新性研究成果。
微型光譜儀
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