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日本豐興電磁閥AD-SL231D-710D-TOYOOKI

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3C閥門類別 工業(yè) 流動方向 其他
應(yīng)用領(lǐng)域 化工,能源,電子/電池,電氣,綜合

日本豐興電磁閥AD-SL231D-710D-TOYOOKI

1. 產(chǎn)品概述

  • 型號:AD-SL231D-710D

  • 品牌:豐興(Toyoko Koki)

  • 類型電磁驅(qū)動高真空角閥(Solenoid-Actuated Angle Valve)

  • 核心定位

    • 專需快速響應(yīng)精確控制的真空系統(tǒng)設(shè)計,適用于半導(dǎo)體、分析儀器等自動化場景。

    • 相比氣動閥,無需外接氣源,適合空間受限或需簡化系統(tǒng)的設(shè)備。


2. 核心特點

(1)電磁驅(qū)動優(yōu)勢

  • 響應(yīng)速度:開關(guān)時間 ≤0.1秒(最快可達50ms),遠超氣動閥(0.3~0.5秒)。

  • 集成控制:內(nèi)置電磁線圈,支持24VDC/12VDC(標(biāo)準(zhǔn)),可直接連接PLC或繼電器。

  • 無氣源依賴:無需壓縮空氣,減少系統(tǒng)復(fù)雜度,避免油/水污染風(fēng)險。

(2)真空性能

  • 泄漏率:<1×10?? Pa·m3/s(金屬密封),滿足UHV(超高真空)要求。

  • 壓力范圍:大氣壓 ~ 1×10?? Pa(氟橡膠密封)或 1×10?? Pa(金屬密封)。

(3)耐用性與兼容性

  • 閥體材質(zhì):SUS304不銹鋼(默認),可選SUS316L增強抗腐蝕性。

  • 密封選項

    • 金屬密封(銅/鋁):耐高溫(200°C)、抗等離子體侵蝕。

    • 氟橡膠(FKM):經(jīng)濟型選擇,適用于常溫及弱腐蝕性氣體(如N?、Ar)。


3. 技術(shù)參數(shù)

參數(shù)規(guī)格
通徑(DN)25 mm(或根據(jù)型號定義)
連接方式CF法蘭(ISO-K)、KF法蘭
驅(qū)動電壓24VDC(標(biāo)準(zhǔn))/ 可選12VDC、110VAC
功率消耗5~10W(根據(jù)電壓和線圈配置)
溫度范圍-10°C ~ +80°C(線圈部分)
閥體耐溫-20°C ~ +200°C(金屬密封)
適用氣體惰性氣體、高純度氣體、弱腐蝕性氣體

4. 與同系列對比(電磁閥 vs 氣動閥)

特性AD-SL231D-710D(電磁)AD-SL231D-916D(氣動)
驅(qū)動方式電磁線圈氣動(需0.4~0.6 MPa氣源)
響應(yīng)速度≤0.1秒≤0.3秒
安裝復(fù)雜度低(僅需通電)中(需氣路連接)
適用場景小型設(shè)備、高頻開關(guān)大型系統(tǒng)、耐高溫/腐蝕性環(huán)境

5. 典型應(yīng)用

  • 半導(dǎo)體設(shè)備

    • 真空機械手(Loadlock)的快速隔離,晶圓傳輸腔室的氣體控制。

  • 分析儀器

    • 質(zhì)譜儀、電子顯微鏡的真空通路切換。

  • 自動化系統(tǒng)

    • 需PLC高頻控制的真空生產(chǎn)線(如鋰電池鍍膜)。

日本豐興電磁閥AD-SL231D-710D-TOYOOKI



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