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EMS300R T 大樣本離子濺射鍍膜儀（通用儀器）

具體成交價以合同協(xié)議為準
產(chǎn)品標簽

鍍膜儀蒸碳儀鍍金儀

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聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息，謝謝!


海德公司是Electron Microscopy Sciences 公司（簡稱 EMS ）在中國的總代理，我們致力于符合中國客戶的產(chǎn)品引入中國！精密的Dumont鑷子和DiaTome鉆石刀給電子顯微鏡用戶帶來便利。

膠體金二抗來自荷蘭的Aurion公司，這是一家專業(yè)的免疫金試劑的生產(chǎn)廠家，過去的幾年中，Aurion的產(chǎn)品線不斷壯大，產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定，包括了光鏡、電鏡方面的免疫金試劑，產(chǎn)品線已經(jīng)形成：電鏡方面的銀加強試劑、超微Fab片段、封閉試劑、Donkey的免疫金標記試劑等等。

提供美國EMS公司的鍍膜儀（噴金儀）、輝光放電儀、低溫灰化儀等等電子顯微鏡周邊儀器，以及電鏡銅網(wǎng)、支持膜、微珊、樹脂包埋劑等等試劑耗材。

來自英國的抗原修復鍋和新型的免疫佐劑給更大病理研究和制藥企業(yè)帶來福音。

海德生物代理國外產(chǎn)品的同時，也在某些領域進行著積極的探索和研究，已經(jīng)研制出新型試劑和科研工具，我們將會不斷的推出緊跟時代發(fā)展的產(chǎn)品給廣大的科研工作者。  


櫻花Tissue－Tek系列包埋劑、櫻花包埋模具、解剖刀
Biotium公司熒光染料
Dumont公司高級鑷子
Aurion公司膠體金
ESCO品牌系列玻片
NUNC公司培養(yǎng)腔室
電子顯微鏡相關(guān)的銅網(wǎng)、支持膜、樣品臺、標準樣
Biospec公司組織研磨器系列

 

EMS300R T 大樣本離子濺射鍍膜儀（通用儀器）Large Chamber Sputter Coaters 
 

    大樣本離子濺射鍍膜儀（通用儀器）適合SEM（掃描電鏡）、FE-SEM（場發(fā)射掃描電鏡）、TEM（透射電鏡）。EMS300R T 與EMS150R T相似，明顯區(qū)別是EMS300R T腔室足夠大，達到203mm，采用旋轉(zhuǎn)真空泵抽真空；此外，它配備三個獨立的濺射頭，確保靶材粒子在大樣本上的沉積效果。適合濺射不易氧化的貴金屬如金、金/鈀、鉑等。（注意：既能濺射不易氧化金屬，又能濺射易氧化金屬，另見EMS300T T） 。

特征參數(shù)：

    1、 可以進行超大樣本（直徑至203mm）的金屬鍍膜

    2、 三個濺射頭確保濺射沉積質(zhì)量

    3、 單靶材選擇功能，可以進行小樣本鍍膜

    4、 多種金屬靶材比如金、金/鈀、鉑等可選

    5、 選擇裝配膜厚監(jiān)測儀可以精確控制膜厚

    6、 全自動觸摸屏控制，快速數(shù)字輸入，操作簡便

    7、 可以儲存不同用戶的程序

    8、 能夠記錄100個鍍膜細節(jié)

    9、 真空自動控制，且具有真空保持功能

    10、 落入式樣品臺拆裝方便（標配是旋轉(zhuǎn)樣品臺）

    11、 zui長60分鐘不間斷鍍膜能力

    12、 符合人體工程學的整體注塑機身

    13、 電氣符合CE要求

    14、 三年質(zhì)保

樣品臺

    EMS300R T有多種型號的樣品臺可以選擇，用于滿足目前大部分需求。落入式設計使得不同型號的樣品臺之間更換簡便，樣品臺除了行星臺外其高度均可調(diào)，旋轉(zhuǎn)速度在預設范圍內(nèi)實現(xiàn)可調(diào)。

  • 扁平樣品臺，用于晶圓的鍍膜（152mm-203mm），標配
  • 旋轉(zhuǎn)樣品臺，50mm，不能傾斜
  • 旋轉(zhuǎn)傾斜樣品臺，50mm，高度可調(diào)（靶材與樣本之間的距離在30-80mm之間可調(diào)），傾斜角度在0-30度之間
  • 用于撥片的旋轉(zhuǎn)臺

加高腔室：需要時可以得到（付費）

儀器參數(shù)：

儀器外形尺寸

585mm W x 470mm D x 410mm H

（total height with coating head open: 650mm）

重量

36.4kg

包裝尺寸

725mm W x 660mm D x 680mm H （44.8kg）

工作腔室

高硼硅玻璃283mm ID x 127mm H

安全保護

整體PET套筒

顯示

145mm x 320mm x 240mm TFT彩顯

使用者界面

直觀的圖形界面，觸摸鍵。記憶功能：維護提醒及zui后100個鍍膜方案日志記錄

濺射靶材

標配三個57 mm Ø x 0.1 mm金靶 （SC502-314A）

 

真空

旋轉(zhuǎn)真空泵

50L/m two-stage rotary pump with oil mist filter.

Order separay, 91005.

真空監(jiān)測

皮拉尼測量

極限真空度

潔凈系統(tǒng)可達 2x10-2 mbar，充氮氣

樣品臺

標配晶圓樣品臺，152mm-203mm，旋轉(zhuǎn)速度可調(diào)。

 

濺射

根據(jù)鍍膜厚度或內(nèi)置的計時器，濺射電流范圍在0-80mA ，zui長濺射時間不超過60分鐘

 

其它重要信息

需要氣體

氬氣 99.999%，氮氣可選（排氣時需要）

電源

90-250V 50/60Hz 1,400VA including RV3 rotary pump power.

（注意電壓的選擇）

電氣標準

符合電氣CE認證要求

 

訂購信息：

產(chǎn)品貨號

產(chǎn)品

產(chǎn)品規(guī)格

EMS300R T

EMS300R T 大樣品離子濺射鍍膜儀

Large-Chamber-Rotary-Pumped Sputter Coater,

fitted with three sputtering heads to ensure

even metaldeposition. Include three

57mm Ø x 0.3mm gold （Au） sputter targets.

A flat rotation stage for 8”/203 mm/and 6”/152 mm

wafers is fitted as standard

EACH

91005

愛德華旋轉(zhuǎn)真空泵（單獨購買）Edwards RV5 90L/s two-stage

rotary pump, with vacuum hose, coupling kit and

oil mist filter

EACH

更多信息請：海德公司hedebio



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