武漢中航世紀(jì)隔振設(shè)備科研氣浮隔振光學(xué)平臺 ZPT系列光學(xué)平臺PX 0
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氣浮并聯(lián)負(fù)剛度主動(dòng)隔振平臺ZVI-FV系列
氣浮并聯(lián)負(fù)剛度主動(dòng)隔振平臺ZVI-FV系列,由空氣彈簧,磁負(fù)剛度機(jī)構(gòu)西格瑪光機(jī)真空電動(dòng)旋轉(zhuǎn)滑臺
Optosigma提供真空5項(xiàng)步進(jìn)電機(jī),采用蝸輪蝸桿驅(qū)動(dòng)的真空電動(dòng)旋轉(zhuǎn)平