HORIBA科學(xué)儀器事業(yè)部
拉曼+半導(dǎo)體4H-SiC+不同層載流子濃度
檢測(cè)樣品：半導(dǎo)體4H-SiC
檢測(cè)項(xiàng)目：半導(dǎo)體不同層載流子濃度
方案概述：利用共聚焦拉曼進(jìn)行分析時(shí)，不同的激發(fā)光可以檢測(cè)不同濃度的載流子信息，比如325 nm激光輻照可以檢測(cè)低濃度載流子信息；2、同樣是在325 nm激光輻照下，樣品內(nèi)產(chǎn)生的光生載流子濃度會(huì)隨著離子改性層中鋁離子注入劑量的增加而減弱；3、這些都表明了共聚焦拉曼在載流子濃度表征方面的便利與優(yōu)勢(shì)。
在對(duì)一系列具有不同載流子濃度的EPI層和基底層構(gòu)成的4H-SiC樣品進(jìn)行對(duì)比分析后，團(tuán)隊(duì)人員發(fā)現(xiàn)，隨著探針由樣品內(nèi)部基底層上移至樣品表面EPI層，對(duì)應(yīng)的LOPC峰位出現(xiàn)一種趨勢(shì)：先平穩(wěn)不動(dòng)，隨后逐漸往低波數(shù)方向移動(dòng)（藍(lán)移）（如下圖7所示）。我們從上述研究已經(jīng)知道LOPC峰是對(duì)載流子濃度很敏感的峰，這一藍(lán)移現(xiàn)象意味著：從基底層到外延層，載流子存在濃度梯度。再通過(guò)對(duì)拉曼結(jié)果的計(jì)算分析，團(tuán)隊(duì)人員就獲得了不同層對(duì)應(yīng)的載流子濃度梯度。
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