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岱美儀器技術服務（上海）有限公司

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產(chǎn)品分類品牌

EVG光刻機: 掩模對準曝光機光刻膠處理系統(tǒng)

EVG鍵合機: 對準設備晶圓鍵合機直接鍵合設備臨時鍵合/解鍵合金屬鍵合設備

晶圓關鍵尺寸測量

EVG納米壓印機: UV-NIL/SmartNIL紫外壓印納米壓印母版制作系統(tǒng)

膜厚儀: Thetametrisis膜厚儀光學相干斷層掃描全自動同質膜厚測量系統(tǒng) 硬化涂層膜厚儀 Filmetrics膜厚儀

防震臺: Herz TDI氣浮式被動防震臺 Herz AVI系列主動防震臺 Herz 電鏡隔振臺 DAEIL DVIA-T主動防振臺 Stefan Mayer主動消磁系統(tǒng)

晶圓厚度測量: 硅片厚度測量儀半自動晶圓厚度測量

應力測量: FSM應力儀 ilis應力儀

3D形貌儀/白光干涉輪廓儀: 白光干涉儀彩色共聚焦輪廓儀 Filmetrics 3D光學輪廓儀白光干涉+共聚焦一體機晶圓形貌和參數(shù)檢測

光學鏡頭對準系統(tǒng)(定心儀)

片電阻測量儀: 薄膜電阻測量儀

晶圓缺陷檢測: 全自動AOI系統(tǒng) 雙2D AOI系統(tǒng) LAZIN

等離子去膠: 微波等離子清洗

橢偏儀: FilmSense 橢偏儀

臺階儀

4D 動態(tài)激光干涉儀: PhaseCam 6010 PhaseCam 4030

光學粗糙度測試儀

電容式位移傳感器: Microsense 位移傳感器

磁性材料檢測設備

全自動測量機臺

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岱美中國拿到Herz 2臺減震臺的訂單

時間：2024-01-08

岱美中國拿到Herz隔震臺的訂單。客戶位于廣東省深圳市，是規(guī)模為40nm/28nm工藝之一，公司擁有全球頂尖的生產(chǎn)工藝，致力于為全球客戶提供優(yōu)質的晶圓制造代工服務，不斷優(yōu)化流程和提升品質，以滿足客戶的需求和期望。特別關注粵港澳大灣區(qū)系統(tǒng)及芯片設計公司不斷增長的流片及產(chǎn)能需求。確保優(yōu)先滿足。

瑞士Herz是個擁有超過30年行業(yè)經(jīng)驗的隔震臺系統(tǒng)制造商，且在這個領域上有著相當豐富的經(jīng)驗，與此同時herz測量技術取得了巨大進步，一些靈敏度高的儀器可能是一個自然諧振頻率的被動系統(tǒng)，只有主動隔振系統(tǒng)才能消除功臣。herz通過發(fā)展主動隔振系統(tǒng)的同時補充了被動系統(tǒng)，新的主動隔振系統(tǒng)可為靈敏的儀器提供各種消除振動干擾的需求。