UltraINSP晶圓表面缺陷檢測系統(tǒng)是表面缺陷檢測的蕞完善的國產(chǎn)化替代產(chǎn)品，系統(tǒng)包括四個模塊可以檢測所有晶圓表面并同步采集數(shù)據(jù)：晶圓正面、背面、邊緣缺陷檢測模塊；輪廓、量測和檢查模塊；其提供了自適應(yīng)數(shù)據(jù)采集控制，創(chuàng)新地利用測量評估結(jié)果匹配多傳感融合測量技術(shù)以保證檢測準(zhǔn)確與穩(wěn)定，系統(tǒng)可蕞大程度的替代進(jìn)口缺陷檢測設(shè)備，具有很高的經(jīng)濟(jì)效益。

目前可定制的缺陷類型：

1. 邊緣缺陷檢測：崩邊、缺角

2. 切割槽深度與寬度檢測

3. 切割缺角、豁口檢測

4. 切割槽多余材料堆積

5. 引線鍵合質(zhì)量檢測

6. 焊點(diǎn)質(zhì)量檢測