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有Felles Photonic公司引進(jìn)的超高精度紅外顯微鏡日前在無錫微電子產(chǎn)業(yè)園安裝成功。這套紅外顯微鏡使用7-14微米的PbSe探測(cè)器作為熱源探測(cè)器，提供高達(dá)10微米分辨率的熱成像和紅外成像。該紅外顯微鏡可用于探測(cè)熱點(diǎn)和缺陷 電子元件和電路板故障診斷 測(cè)量結(jié)溫 甄別芯片鍵合缺陷 測(cè)量熱阻封裝 確立熱設(shè)計(jì)規(guī)則 。

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整套紅外顯微鏡可給出材料的發(fā)射系數(shù)，能夠有效測(cè)量準(zhǔn)確溫度數(shù)值和溫度分布，對(duì)于微電子器件的熱分布研究提供精密的測(cè)量。

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