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微波等離子體源是具有著高度靈活性微波等離子體發(fā)生器，可有效應(yīng)用在各種精密復(fù)雜的科研實(shí)驗(yàn)中。微波等離子體源創(chuàng)造性地使用分子氣體混合物補(bǔ)充的純氬氣，氦氣，確保了將化學(xué)工藝與具體應(yīng)用的要求相匹配。
微波等離子體源特點(diǎn)
對于表面凈化、超細(xì)清洗和表面活化以及實(shí)時(shí)樣品制備的形態(tài)分析方法這些多樣化應(yīng)用，
廣泛的操作范圍內(nèi)的氣體流量和微波功率，以及固有的高等離子體溫度是*的先決條件。
具有上述性能，成為了工業(yè)和研究領(lǐng)域里生產(chǎn)和分析應(yīng)用的強(qiáng)大工具。
微波等離子體源
等離子體作為一種，廣泛用于科學(xué)研究和工業(yè)應(yīng)用，是表面處理中*的工具。等離子技術(shù)運(yùn)用廣泛，主要用于那些質(zhì)量，生產(chǎn)力，環(huán)境的可持續(xù)性，精密度和靈活性很重要的應(yīng)用。
微波等離子體源特征
緊湊和移動型
靈活性高
微波等離子體源應(yīng)用廣泛
激活
精洗
凈化
形態(tài)分析（如有機(jī)汞，鉛，錫化合物）
化學(xué)反應(yīng)器?

微波等離子體源處理
技術(shù)和生物材料
復(fù)雜的幾何形狀
很難接近的位置
精確和逐點(diǎn)操作
惰性和分子氣體提供能源
多功能加工一體化
微波等離子體源 描述
用于表面處理的緊湊型常壓等離子體源裝置
手持裝置尺寸  80x 65X 50mm（1.50米電纜接頭）
手持裝置重量 0.5kg
基本單元尺寸 110x 230x 375mm （高x寬x深）
基本單元重量  6.5公斤
電源  110-230VAC, 50/60 Hz
功耗＜<200W  在230 V, 50 Hz
微波等離子體源 運(yùn)輸和儲存條件
溫度 - 40°C - 70°C
相對濕度 10% - 100%
工作條件
溫度15°C - 40°C
相對濕度 15% - 75%
氣壓 800 hPa -1060 hPa
微波等離子體源
工藝氣體
氬
* *根據(jù)要求，提供其他氣體和混合物
微波頻率  2.45GHz
正向功率  10 W至60 W（可選）
氣體流量  0.6- 6升/分鐘
等離子量    約10mm3
電子密度  高達(dá)2 x1021m-3
氣體溫度  高達(dá)1700°C
     *取決于工藝氣體和功率