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這款半自動真空探針臺SPS-2600-VAC和SPS-2800-VAC系列是MicroXact的真空探針系統(tǒng)，設計用于支持在真空或受控氣體環(huán)境中對多達100mm或200mm的晶片進行電動或半自動探測。
該半自動真空探針臺準確，成本低，噪音低，使用方便。半自動真空探針臺建立在一個振動補償?shù)亩喙δ芷脚_上，能夠配置處理廣泛的探測應用。半自動真空探針臺提供可控環(huán)境晶圓級探測，非常適合于77K以下的無冰測試或易氧化設備和組件的高溫測試。
半自動真空探針臺特點

標準重復精度+/-7mm

標準分辨率1.5mm

XY軸可選更高重復精度/分辨率（2mm/100nm)

可選擇手動或電控theta臺

探針臂可選擇帶有額外的微操作器

可選擇液氮制冷樣品夾盤用于液氮溫度下測試

標配鏡頭放大筒比例7:1倍，分辨率可達4um

有效的振動隔離臺