目錄:孚光精儀（中國）有限公司>>光學測量系列>>光學薄膜測量>> FPFRE-MDPspot單點少子壽命測量儀
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,電子/電池 |
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單點少子壽命測量儀系統(tǒng)是經(jīng)濟型晶圓壽命測量儀器,對不同制備階段的硅材料電學參數(shù)進行表征。單點少子壽命測量儀可測量小于156mm厚度的晶錠,沒有自動化配置,手工操作?？稍雠潆娮杪蕼y試功能,適合硅，晶圓片和晶錠壽命測量。
| 樣品 | 不同工藝處理樣品，如鈍化或擴散后的單晶或多晶硅晶圓、晶錠、電池等 |
| 樣品尺寸 | 50 x 50 mm2 到12“ 或210 x 210 mm2 |
| 電阻率 | 0.2 - 103 Ohm cm |
| 材質(zhì) | 硅晶圓，晶錠，部分或全部加工晶圓，化合物半導(dǎo)體和其它類型 |
| 少子壽命檢測范圍 | 20ns到幾十ms |
| 尺寸 | 360 x 360 x 520 mm，質(zhì)量：16 kg |
| 電源 | 110/220 V, 50/60 Hz, 3 A |
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