目錄:孚光精儀（中國）有限公司>>光學測量系列>>晶圓測試儀器>> FPGUN-scorpionCDM測試機,DUT設備,帶電器件模型測試
CDM測試機,帶電器件模型測試機是專業(yè)的DUT設備,用于帶電器件模型測量。
CDM測試機使用傳統(tǒng)CDM排放壓頭和接觸技術放電頭。這兩種放電頭都滿足JEDEC/ESDA JS-002-2014標準。CDM頭還符合JEDEC、ESDA和AEC標準。
CDM測試機特色
較高Pin密度
銷間距小至0.1 mm
高達125x125 mm的模塊
易于對齊可調(diào)L形支架
自清潔，低維護
干燥空氣/氮氣使用量低
精確的機械運動帶有光反饋
CDM測試機規(guī)格參數(shù)
測試面積：12.7x12.7mm
位移系統(tǒng)：XY軸最小步進25.4um, 精度6um
Z軸豎直行程38.1mm, 精度6um
測試電壓范圍：+/-75V 到+/-1500V, 步進1V
濕度范圍：10-80%
尺寸：64cm x 84cm x 138.5cm
重量：147kg
電源要求：120-240VAC, 50/60Hz, 10A
真空度：20" Hg @ 0.1 CFM
最大氣壓：0.05 scfm at 60 psi max
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