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目錄:孚光精儀(中國)有限公司>>半導體微電子設(shè)備>>等離子體處理>> FPCTE-Play-ALD等離子體增強原子層沉積系統(tǒng)

等離子體增強原子層沉積系統(tǒng)
  • 等離子體增強原子層沉積系統(tǒng)
參考價 面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
參考價 面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 品牌 孚光精儀
  • 型號 FPCTE-Play-ALD
  • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
  • 所在地 上海市
屬性

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更新時間:2024-12-20 11:44:57瀏覽次數(shù):1279評價

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等離子體增強原子層沉積系統(tǒng)采用*大的腔室和等離子ALD模塊,獲得**的原子層沉積效果。

等離子體增強原子層沉積系統(tǒng)采用*大的腔室和等離子ALD模塊,獲得**的原子層沉積效果。
等離子體增強原子層沉積系統(tǒng)特點
腔室圓柱形和工程設(shè)計的流型均勻性。
適用于多種不同的基板和沉積材料。
出于安全目的,在分離的區(qū)域進行前體、泵送、捕集和控制。
用戶友*且易于訪問所有組件
等離子體增強原子層沉積系統(tǒng)規(guī)格參數(shù)
不銹鋼腔室
具有4-8條不同前體(冷和熱)管線的前體進料系統(tǒng)
配備快速氣動閥的前體進料系統(tǒng)。
多段溫度控制:前體、加熱夾套,范圍0-200oC,分辨率1oC腔室,范圍0-300oC,分辨率1oC–腔室的管道入口和出口,范圍0-150oC,分辨率1oC。
基本壓力為10-1/10-3毫巴。
工具尺寸,1000x600x1000mm。
帶觸摸屏的控制系統(tǒng):
系統(tǒng)狀態(tài)信息:氣體流量、溫度、壓力和閥門。
過程監(jiān)控:壓力和溫度。偏差警報和安全鎖。
配方處理和實時監(jiān)控。
自動蓋和人體工程學設(shè)計。視覺和聲音警報。

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