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水滴角測(cè)試儀是為晶圓親水性測(cè)試設(shè)計(jì)的光學(xué)水滴接觸角測(cè)定儀,晶圓潤(rùn)濕行為（比如HMDS涂層）是半導(dǎo)體工藝標(biāo)準(zhǔn)流程步驟,采用水滴角測(cè)試儀測(cè)量晶圓親水性和表面自由能是有效而工藝控制程序,為此，需要一種易于使用的水滴角接觸角測(cè)量?jī)x器。
水滴角測(cè)試儀特點(diǎn)
‐固定的高質(zhì)量測(cè)量物鏡
‐USB 2.0數(shù)碼相機(jī)，1.3百萬(wàn)像素；
-光學(xué)器件和攝像頭都集成在封閉式外殼，防止失調(diào)；
-均勻、明亮的LED照明，亮度可調(diào)；
-手動(dòng)測(cè)量臺(tái)，直徑200mm，聚四氟乙烯涂層：
‐手動(dòng)在x和phi方向定位
‐可以用真空鑷子放置晶片
-晶圓臺(tái)行程：100mm，
-工作臺(tái)旋轉(zhuǎn)：360°（工作臺(tái)上的每個(gè)點(diǎn)
專(zhuān)業(yè)的測(cè)量軟件
關(guān)于軟件接觸角和自由表面（如果需要）可以測(cè)量固體的能量。舒適的文檔功能在質(zhì)量保證和研究。
可以實(shí)現(xiàn)對(duì)通過(guò)液滴形狀的不同擬合方法得到的無(wú)柄液滴的接觸角。落差是通過(guò)圖像處理方法自動(dòng)檢測(cè)。在對(duì)比嚴(yán)重的情況下軟件為跌落檢測(cè)提供了額外的選項(xiàng)，用于計(jì)算
多達(dá)5種測(cè)量液體的測(cè)量接觸角獲得固體的表面能。