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日前，電工研究所聯(lián)合中國計量科學院、國家納米科學技術(shù)中心共同研制成功*套可溯源計量型掃描電子顯微鏡。
電工所在高分辨力場發(fā)射掃描電子顯微鏡的基礎(chǔ)上，加裝激光干涉儀測距的納米級高精度位移臺, 并提出了采用步進掃描代替?zhèn)鹘y(tǒng)電子束掃描的圖像獲取的創(chuàng)新方法。該方法可直接關(guān)聯(lián)圖像掃描與激光干涉儀的位置測量，實現(xiàn)對樣品納米結(jié)構(gòu)掃描成像的量值溯源，有效減少電子束掃描成像過程中放大倍率波動和掃描線圈非線性特征在納米尺度測量中產(chǎn)生的誤差，從而實現(xiàn)對樣品納米結(jié)構(gòu)的溯源測量。
該設(shè)備的研制成功對我國納米尺度計量標準的制定、掃描電子顯微鏡及其它納米尺寸測量儀器的校準、納米標樣和標物的校準、參與長度比對等方面將起到重要作用。
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