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高純度氫氣發(fā)生器與氣相外延生長技術(shù)的關(guān)系
閱讀：1350 發(fā)布時間：2021-12-21
高純度氫氣發(fā)生器可為產(chǎn)、進(jìn)口氣相色譜提供穩(wěn)定的氫氣氣源，操作簡單，只需啟動電源開關(guān)即可產(chǎn)氣，輸出壓力穩(wěn)定，流量由LED數(shù)碼顯示，直觀醒目。日常使用時只需補(bǔ)充蒸餾水，可連續(xù)使用也可間斷使用。儲液、電解制氫、排氧一體化，池溫低，壽命長久。氫氣作為一種綠色能源介質(zhì)，可同時滿足資源、環(huán)境和可持續(xù)發(fā)展的要求，是其他燃?xì)馑荒鼙葦M的。氫氣發(fā)生器用氫氧火焰切割，以替代傳統(tǒng)連鑄坯切割技術(shù)，另外在使用氫氧火焰對原設(shè)備進(jìn)行簡易改造，投入較少。
氣相外延生長技術(shù)是在VPE基礎(chǔ)上發(fā)展起來的，是以族元素的有機(jī)化合物和氫化物等作為晶體生長源材料，以熱分解反應(yīng)方式在襯底上進(jìn)行氣相外延，生長各種-V族化合物半導(dǎo)體以及它們的多元固溶體的薄層單晶材料。
在氣相外延生長技術(shù)中，氫氣可以擔(dān)當(dāng)載氣，將III(II)金屬有機(jī)物和V(VI)族氫化物以及摻雜源攜帶運(yùn)輸?shù)椒磻?yīng)室內(nèi)，為化學(xué)沉積反應(yīng)和薄膜生長提供基礎(chǔ)，要求氫氣純度≥99.999%(≥5N)，壓力為4-7bar，而高純度氫氣發(fā)生器所產(chǎn)氫氣可以符合這一領(lǐng)域的用氣需求。同時，氫氣純度穩(wěn)定不變，減少了氫氣純度波動對設(shè)備的影響。
此外，設(shè)備操作便捷，保障氫氣供應(yīng)連續(xù)不間斷，用戶無需擔(dān)心氫氣用完，也無需和高壓氣體鋼瓶接觸，發(fā)生器自動運(yùn)行，無需額外人工操作。發(fā)生器自動偵測自身工作狀態(tài)和錯誤，一旦偵測異常即發(fā)生。