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無塵無氧烤箱技術(shù)原理與關(guān)鍵設計
無塵無氧烤箱是一種專為高潔凈度、低氧環(huán)境需求設計的工業(yè)設備，主要應用于需要避免氧化、污染或化學反應的精密制造和科研領(lǐng)域。
1. 技術(shù)原理與關(guān)鍵設計
無塵控制
通過多級高效空氣過濾系統(tǒng)(如HEPA過濾器)和正壓環(huán)境設計，阻止外部灰塵進入。內(nèi)部循環(huán)風經(jīng)多次過濾，確保潔凈度達到Class 100甚至更高(每立方英尺空氣中粒徑≥0.5μm的粒子≤100個)。
無氧控制
采用惰性氣體(如氮氣、氬氣)置換技術(shù)，通過氣體循環(huán)系統(tǒng)排出氧氣，使氧濃度降至1%以下甚至更低。部分設備支持動態(tài)調(diào)節(jié)氧含量，適應不同工藝需求。
溫度均勻性
通過熱風循環(huán)、導流板設計或真空環(huán)境實現(xiàn)精準控溫(±1℃以內(nèi))，避免局部溫差導致產(chǎn)品缺陷。
2. 關(guān)鍵參數(shù)選型要點
潔凈度等級：根據(jù)需求選擇ISO Class 5-8(對應粒徑0.1-5μm的粒子控制)。
氧濃度范圍：從ppm級(如<10ppm)到百分比級(如<0.1%)。
溫度范圍：常溫至高溫(如RT+10℃~500℃)。
氣體接口：是否支持氮氣/氬氣快速接頭，氣體消耗量估算。
自動化功能：氧濃度實時監(jiān)控、數(shù)據(jù)記錄、報警系統(tǒng)。