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　　當(dāng)磁控濺射鍍膜機(jī)出現(xiàn)故障后應(yīng)先要向使用者了解故障的現(xiàn)象，之后要親自開機(jī)觀察故障，這樣才能更準(zhǔn)確、更快、更合理地排除故障。

　　

　　排除故障應(yīng)先檢測低真空是否正常（機(jī)械泵、羅茨泵、管道、下室、蒸發(fā)室），低真空正常后再開主泵，主泵正常后檢測下室真空中是否正常，下室真空正常再開高閥進(jìn)行高真空檢測檢漏，直至達(dá)到真空，極限真空、保真空、恢復(fù)真空，如極限真空和保真空正常，而恢復(fù)真空和真空不正常則可能主泵有問題。

　　

　　今天給大家列舉一些磁控濺射鍍膜機(jī)使用過程中常見的故障和解決方法，希望能幫助大家！

　　

　　一、當(dāng)正在鍍膜時真空度突然下降。

　　

　　1、蒸發(fā)源水路膠圈損壞（更換膠圈）

　　

　　2、坩堝被打穿（更換坩堝）

　　

　　3、高壓電極密封處被擊穿（更換膠圈）

　　

　　4、工轉(zhuǎn)動密封處膠圈損壞（更換膠圈）

　　

　　5、預(yù)閥突然關(guān)閉可能是二位五通閥損壞（更換二位五通閥）

　　

　　6、高閥突然關(guān)閉可能是二位五通閥損壞（更換二位五通閥）

　　

　　7、機(jī)械泵停機(jī)可能是繼電器斷開（檢查繼電器是否正常）

　　

　　8、烘烤引入線電極密封處被擊穿（更換膠圈）

　　

　　9、擋板動密封處膠圈損壞（更換膠圈）

　　

　　10、玻璃觀察視鏡出現(xiàn)裂紋、炸裂（更換玻璃）

　　

　　二、磁控濺射鍍膜機(jī)抽真空時間過長，且達(dá)不到真空、恢復(fù)真空、極限真空、保真空。

　　

　　1、蒸發(fā)室有很多粉塵（應(yīng)清冼）

　　

　　2、擴(kuò)散泵很久未換油（應(yīng)清冼換油）

　　

　　3、前級泵反壓強(qiáng)太大機(jī)械泵真空度太低（應(yīng)清冼換油）

　　

　　4、各動密封膠圈損壞（更換膠圈）

　　

　　5、由于蒸發(fā)室長期溫度過高使其各密封膠圈老化（更換膠圈）

　　

　　6、蒸發(fā)室各引入水路密封處是否有膠圈損壞（更換膠圈）

　　

　　7、各引入座螺釘、螺母有無松動現(xiàn)象（重新壓緊）

　　

　　8、高低預(yù)閥是否密封可靠（注油）