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科睿設(shè)備有限公司

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探針臺(Analytical Probe Station)

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更新時間：2025-03-27 21:00:08

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儀器特點

1、同軸驅(qū)動臺面

2、RF射頻探針升級

3、20 – 4000倍的放大

4、后座自由的運動

5、載物臺快速升降

6、晶圓取放簡單

7、壓盤上下精細調(diào)節(jié)

8、探針卡尖超速傳動調(diào)節(jié)

儀器規(guī)格

真空載物臺： 4/6/8/12英寸不銹鋼

載物臺Theta: 0 – 30度轉(zhuǎn)動

壓盤上下粗調(diào)：6毫米范圍內(nèi)控制桿調(diào)整

壓盤上下微調(diào)：25毫米手動輪子調(diào)整

壓盤：12微控定位器

顯微鏡臺：1英寸x1英寸移動

真空泵：7升/分鐘，-250mmHg

尺寸：780毫米長x660毫米寬x700毫米高

重量：80Kg

附件

低電流、低電容探針

RF探針、電纜

主動探針

超聲切割

PCB夾具、鍍金載物臺

熱臺、冷卻系統(tǒng)

防震臺、屏蔽罩、黑箱

…

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