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VEGA3掃描電子顯微鏡是 TESCAN 公司推出的*款掃描電子顯微鏡系列，經(jīng)過 16 年的不斷研發(fā)改進(jìn)，如今已是成熟的第三代產(chǎn)品。歷經(jīng)多年市場考驗(yàn)，VEGA 已被證實(shí)具備非常優(yōu)異的可靠性及性能優(yōu)勢，并幫助 TESCAN 在帶電粒子光學(xué)領(lǐng)域奠定了地位。

VEGA3掃描電子顯微鏡是一款功能強(qiáng)大的電子顯微鏡系統(tǒng)，可支持高 & 低真空環(huán)境操作，并為用戶提供優(yōu)勢技術(shù)。如提高圖像采集速度的高性能電子設(shè)備、靜態(tài)和動態(tài)圖像畸變補(bǔ)償?shù)某鞉呙柘到y(tǒng)、用戶自定義的應(yīng)用程序腳本等。此外，由于使用了強(qiáng)力的渦淪分子泵和機(jī)械泵，因而可以快速簡單地得到干凈的真空樣品室。VEGA3 有四種樣品室可供選擇：SB、LM、XM 和 GM，樣品室配備多種接口，為 EDS、WDS 和 EBSD 分析附件的安裝設(shè)計了幾何結(jié)構(gòu)。VEGA 系列產(chǎn)品一直保持著非常高的性價比，可滿足當(dāng)今科研及工業(yè)的掃描電鏡應(yīng)用需求。

突出特點(diǎn)

• 四透鏡大視野（Wide Field Optics™) 設(shè)計、專有的中間鏡（IML）電子束優(yōu)化功能，并可提供多種工作模式和顯示模式；
• 中間鏡設(shè)計（IML），采用電磁的方式改變物鏡光闌——中間鏡的作用如同連續(xù)可調(diào)的光闌；
• 結(jié)合了電子光學(xué)設(shè)計的實(shí)時電子束追蹤技術(shù)（In-Flight Beam Tracing™) 可模擬和進(jìn)行束斑優(yōu)化；
• 無需任何機(jī)械對中的鏡筒設(shè)計，使光路合軸和校準(zhǔn)*自動化；
• 可實(shí)現(xiàn)高通量、大面積自動化檢測，如自動顆粒分布和分析；
• 配有經(jīng)過計算機(jī)優(yōu)化、馬達(dá)驅(qū)動的全自動優(yōu)中心樣品臺(compucentric stage)

• 有利于 EDS、WDS、EBSD 分析的理想幾何設(shè)計，無畸變的 EBSD 工作模式；
• 強(qiáng)力渦淪分子泵和機(jī)械泵，可快速簡單地得到干凈的真空樣品室；
• 全自動化顯微鏡設(shè)置，包括電子光學(xué)設(shè)置和對齊；
• 用于 SEM 操控、圖像采集、歸檔、處理及分析的專業(yè)軟件；支持多語言多用戶環(huán)境；
• 網(wǎng)絡(luò)操作和內(nèi)置的遠(yuǎn)程控制/診斷功能；
• 采用 3D 電子束技術(shù)（3D Beam Technology ）可獲得實(shí)時立體成像。