分光干涉位移型多層膜厚測(cè)量?jī)x SI-T 系列

 從單層到多層，

可以實(shí)現(xiàn)在線穩(wěn)定測(cè)量全新

 針對(duì)測(cè)量場(chǎng)景量身定制的陣容

多層位移測(cè)量型 SI-T10

參考距離 :

9 mm

測(cè)量范圍 :

0.01 ～ 1.0 mm

特點(diǎn)

• 簡(jiǎn)便測(cè)量多層膜
• 可測(cè)量位移
• ø8 mm &設(shè)定距離9 mm 的空間節(jié)省型

長(zhǎng)距離厚度測(cè)量型 SI-T80

參考距離 :

80 mm

測(cè)量范圍 :

0.01 ～ 1.0 mm

特點(diǎn)

• 設(shè)定80 mm 的長(zhǎng)距離
• 抗工件抖動(dòng)
• 有利于高溫工件
• 粘附層也可以穩(wěn)定測(cè)量借助 KEYENCE *的光量累計(jì)功能，類似粘附層等粗糙的表面，也可以實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定測(cè)量。

  實(shí)現(xiàn)廣范圍測(cè)量

  在拉伸制程等過(guò)程中，可以應(yīng)用于上游至下游的各種場(chǎng)所。