 |
北京海富達(dá)科技有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品： 臭氧檢測(cè)儀,環(huán)境檢測(cè)儀器,水質(zhì)分析儀/ORP測(cè)定儀/溶解氧 |
會(huì)員.png)
16
聯(lián)系電話
|
北京海富達(dá)科技有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品： 臭氧檢測(cè)儀,環(huán)境檢測(cè)儀器,水質(zhì)分析儀/ORP測(cè)定儀/溶解氧 |
聯(lián)系電話
氫氟酸濃度計(jì)（液體） 型號(hào)：M195587
概要
為監(jiān)測(cè)半導(dǎo)體制造工藝中氫氟酸濃度而開發(fā)出來的高精度氫氟酸濃度計(jì)。該設(shè)備通過采用電磁感應(yīng)導(dǎo)電率計(jì)測(cè)量并實(shí)時(shí)顯示氫氟酸濃度。廣泛適用于各個(gè)使用氫氟酸的制造工藝，例如：清洗蝕刻后的晶片。
特征
實(shí)時(shí)顯示氫氟酸濃度
可以通過導(dǎo)電率傳感器檢測(cè)氫氟酸濃度，通過<導(dǎo)電率>-<氟酸濃度>的檢量線，自動(dòng)地實(shí)時(shí)顯示氟酸濃度。
實(shí)現(xiàn)了半導(dǎo)體制造工藝中低濃度范圍的高精度
產(chǎn)品幾乎覆蓋了半導(dǎo)體制造工藝中所使用的氫氟酸溶液的全部量程（0-1/2/5/10/20wt%）。即使在0-1wt%的低濃度量程中，也實(shí)現(xiàn)了±2%F.S.以內(nèi)的再現(xiàn)精度。適合于要求低濃度范圍控制的存儲(chǔ)器生產(chǎn)線中發(fā)揮出威力。
確保穩(wěn)定檢測(cè)的傳感器
沉浸型傳感器已經(jīng)*被PFA樹脂模塊化，所以不會(huì)因氫氟酸溶液而發(fā)生金屬腐蝕現(xiàn)象。并且，金屬等不純物不會(huì)溶入到樣品溶液中，因此可以對(duì)其進(jìn)行穩(wěn)定的檢測(cè)。
裝有報(bào)警功能
為了實(shí)現(xiàn)更加可靠的工藝管理，分別具有濃度輸出以及濃度上限?濃度上上限?濃度下限?濃度下下限的報(bào)警輸出功能。
可以用于多用途
采用小巧的DIN96尺寸的轉(zhuǎn)換器。小型?輕便，適于組裝到氟酸的稀釋裝置、供給裝置、晶片的清洗裝置中。并且，具有直接浸沒到液體中的沉浸型傳感器和設(shè)置在工藝配管中的流通形傳感器）。您可以根據(jù)用途自由選擇。
規(guī)格
測(cè)量原理
電磁感應(yīng)導(dǎo)電率檢測(cè)方式
檢測(cè)對(duì)象
水+氫氟酸溶液
量程
0?1/2/5/10/20HFwt%（請(qǐng)您在訂貨時(shí)）
再現(xiàn)性
±2% F.S
響應(yīng)時(shí)間
90%響應(yīng)5秒以內(nèi)（恒溫條件下）
樣品條件
溫度：25±3℃
壓力：沉浸型0?0.02MPa、流通型0?0.1MPa
顯示
氫氟酸濃度:小顯示值0.001%（在0-1%量程中）
報(bào)警: 濃度上限、上上限、下限、下下限
測(cè)量原理
2個(gè)環(huán)狀螺線管（T1是通過交流電的勵(lì)磁變壓器、T2是檢測(cè)變壓器）被模塊化于傳感器的塑料外殼內(nèi)部。當(dāng)傳感器沉浸在溶液中時(shí)，溶液將在2個(gè)環(huán)狀螺線管之間產(chǎn)生一個(gè)閉合回路。如果環(huán)狀螺線管T1的線圈中通過一恒定的交流電流，則會(huì)在磁圈中產(chǎn)生一恒定的磁場(chǎng)，依照樣品的導(dǎo)電率電流i流過樣品溶液。根據(jù)電流i環(huán)狀螺線管T2中將會(huì)產(chǎn)生相應(yīng)的磁場(chǎng)，并且在T2的線圈中將會(huì)產(chǎn)生感應(yīng)電動(dòng)勢(shì)。由于感應(yīng)電動(dòng)勢(shì)e（電壓）與樣品的電導(dǎo)率呈比例關(guān)系，通過測(cè)量e可得知電導(dǎo)率值。這樣經(jīng)過檢測(cè)的導(dǎo)電率和氫氟酸濃度存在*的關(guān)聯(lián)性，可以根據(jù)預(yù)已知的參考曲線計(jì)算得出并顯示氫氟酸濃度。
：陳
：
