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當前位置：HORIBA科學儀器事業(yè)部>>橢圓偏振光譜儀>> Auto SEAuto SE一鍵式全自動快速橢偏儀
一鍵式全自動快速橢偏儀儀器簡介
新型的全自動薄膜測量分析工具，工業(yè)化設計，操作簡單，可在幾秒鐘內(nèi)完成全自動測量和分析，并輸出分析報告。是用于快速薄膜測量和器件質(zhì)量控制理想的解決方案。
一鍵式全自動快速橢偏儀技術(shù)參數(shù)
·光譜范圍：450-1000 nm
·多種微光斑自動選擇
·光斑可視技術(shù)，可觀測任何樣品表面
·CCD探測器
·自動樣品臺尺寸：200mmX200mm；XYZ方向自動調(diào)節(jié); Z軸高度>35mm
·70度角入射
主要特點
·*自動化設計，一鍵式操作，直接報告輸出
·液晶調(diào)制技術(shù)，測量光路中無運動部件
·CCD探測系統(tǒng)，快速全譜輸出
·多個微光斑尺寸選擇，可視技術(shù)
·封閉式樣品倉
