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[供應(yīng)]TGS 300真空紫外光譜儀

貨物所在地:上海上海市

更新時(shí)間:2025-04-02 21:00:06

有效期:2025年4月2日 -- 2025年10月2日

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TGS 300真空紫外光譜儀產(chǎn)品簡介

TGS300超環(huán)面光柵攝譜儀專為研究分析真空紫外光譜而開發(fā)設(shè)計(jì)。TGS300可在像面形成二維平場,配合陣列探測器實(shí)現(xiàn)真空紫外光譜范圍內(nèi)的一次性全譜采集。安裝XY平臺(tái)上的標(biāo)準(zhǔn)DN100CF法蘭接口,可以方便地調(diào)整和優(yōu)化陣列探測器的中心波長和聚焦特性。

TGS 300真空紫外光譜儀產(chǎn)品簡介

TGS300超環(huán)面光柵攝譜儀專為研究分析真空紫外光譜而開發(fā)設(shè)計(jì)。TGS300可在像面形成二維平場,配合陣列探測器實(shí)現(xiàn)真空紫外光譜范圍內(nèi)的一次性全譜采集。安裝XY平臺(tái)上的標(biāo)準(zhǔn)DN100CF法蘭接口,可以方便地調(diào)整和優(yōu)化陣列探測器的中心波長和聚焦特性。
 

TGS 300真空紫外光譜儀技術(shù)特點(diǎn)
    單片式光學(xué)結(jié)構(gòu)確保光通量zui大化,高光學(xué)穩(wěn)定性。
    HJY的超環(huán)面光柵技術(shù),全光譜范圍內(nèi)優(yōu)異的消像差能力。
    超長的40mm光譜長度,橫向滑動(dòng)CCD測量更寬的光譜,縱向滑動(dòng)CCD優(yōu)化成像質(zhì)量。
    光譜覆蓋zui低至10nm,10-30nm具有超高分辨率。
    支持超高真空度10-9mbar,可接入同步輻射裝置。
 
典型應(yīng)用
   紫外和紫外等離子體光譜分析
   紫外光源表征
   激光高次諧波研究
   EUV光源表征
 

技術(shù)指標(biāo)

 

 三塊標(biāo)準(zhǔn)光柵可選
 2105 gr/mm 光譜范圍: 9.5 – 32 nm
 中心波長: 12nm
 450 gr/mm 光譜范圍: 10 – 110 nm
 中心波長: 15nm
 290 gr/mm 光譜范圍: 15.5 – 170 nm
 中心波長 : 35nm
 光學(xué)設(shè)計(jì) HJY超環(huán)面消像差光柵
 焦長 300 mm
 孔徑 f/20
 分辨率 低至0.04nm (*)
 波長驅(qū)動(dòng) 固定
 高真空 10-6 mbar
 真空泵法蘭 DN40 KF
 Slits 嵌入式
 陣列探測器法蘭 DN100CF
 可選項(xiàng):
 狹縫 手控或自動(dòng)
 多光柵切換裝置 光柵滑塊可裝載3塊光柵,真空中靈活切換
 超高真空 配合DN63CF真空泵法蘭可達(dá)10-9 mbar超高真空
 (*) 使用2105線/mm光柵和10μm狹縫在波長20nm處測量。

 


附件
    前鏡腔,配備兩塊超環(huán)面鏡,實(shí)現(xiàn)光源和單色儀之間的光學(xué)匹配
    后鏡腔,配備兩塊超環(huán)面鏡,實(shí)現(xiàn)單色儀和樣品室之間的光學(xué)匹配
    樣品室,可搭載4塊直徑不大于25mm的樣品
    偏振插片
    制冷機(jī),zui低至4K
    真空泵

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