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技術(shù)參數(shù)：

掃描模式：接觸，非接觸，等高 ，相位對(duì)比，切向力，磁力，擴(kuò)散電阻

?（Static Force ，Lateral Force ，Dynamic Force Phase Contrast ，MFM / EFM ，Spreading Resistance ，Force Modulation
Multiple Spectroscopy modes Lithography and Manipulation modes ）
?
曲線：力-距離，力-電壓，幅度-距離，相位-距離，電流-電壓，電流-距離
力操縱：靜態(tài)力模式：（multi-pass Lithography with re-imaging） 
               動(dòng)態(tài)：（multi-pass Lithography with re-imaging）

樣品尺寸：無樣品臺(tái)：沒有限制。有樣品臺(tái)：100mm
可放置玻璃皿大小： 9 mm （6 mm）
自動(dòng)逼近距離不： 1.1 mm
zui大掃描范圍：100 μm 
Z方向zui大掃描范圍 10 μm
XY-線性誤差：< 0.1%

主要特點(diǎn)：

FlexAFM 的操作非常簡單，連接掃描頭和控制器，通過USB 連接電腦，啟動(dòng)軟件便可以進(jìn)行測試。
FlexAFM 樣品臺(tái)非常方便的實(shí)現(xiàn)定位和逼近，適用于不同厚度和類型的樣品。液體樣品可以放入玻璃皿中，再放到樣品臺(tái)上。掃描頭上有三個(gè)螺釘支架，可以直接放到樣品上測試。

AFM針尖固定

AFM針尖和其固定裝置是AFM系統(tǒng)的核心，針尖固定裝置包含針尖位置調(diào)整部件，用于針尖位置的準(zhǔn)確性和重現(xiàn)性，另外也包含了SureAlign™和雙視窗技術(shù)的部件。整個(gè)固定裝置通過磁力固定在AFM的掃描器上，這樣方便清洗和針尖更換。

FlexAFM的操作非常簡單，連接掃描頭和控制器，通過USB連接電腦，啟動(dòng)軟件便可以進(jìn)行測試。
FlexAFM樣品臺(tái)非常方便的實(shí)現(xiàn)定位和逼近，適用于不同厚度和類型的樣品。液體樣品可以放入玻璃皿中，再放到樣品臺(tái)上。掃描頭上有三個(gè)螺釘支架，可以直接放到樣品上測試。

FlexAFM使用"Liquid Ready" easyScan 2控制器,可以擴(kuò)展STM等技術(shù)。

主要特點(diǎn)：

-真正的靈活的大氣和液體環(huán)境測試

-平的，線性的快速的掃描技術(shù)

-SureAlign™技術(shù)，無需激光調(diào)整

-雙視窗技術(shù)

應(yīng)用舉例：

基于靈活彎曲（Flexure）結(jié)構(gòu)的掃描頭技術(shù)
靈活彎曲結(jié)構(gòu)的掃描頭設(shè)計(jì)，可以引用于平的或粗糙的樣品表面。XY-掃描通過電磁驅(qū)動(dòng)，XY平面的運(yùn)動(dòng)是*線性的。Z方向的運(yùn)動(dòng)是通過壓電陶瓷來驅(qū)動(dòng)，Z方向的運(yùn)動(dòng)速度很快.

SureAlign™激光光學(xué)系統(tǒng)
激光光束進(jìn)入液體時(shí)會(huì)發(fā)生一定偏移，通常實(shí)驗(yàn)時(shí)需要耐心和復(fù)雜的調(diào)整。而FlexAFM使用了SureAlign™的激光光學(xué)系統(tǒng)，無論是在大氣下還是在液體中根本不需要做任何調(diào)整。所以FlexAFM的激光信號(hào)永遠(yuǎn)處于*狀態(tài)。

上方和側(cè)方視窗

兩個(gè)方向的視窗，非常方便觀察和針尖逼近。并且由于特別的設(shè)計(jì)，使得無論在大氣環(huán)境還是液體環(huán)境得到同樣質(zhì)量的視像。