TESCOM 12 系列無彈簧無螺紋調(diào)壓器

TESCOM 12 系列無彈簧無螺紋調(diào)壓器
12 系列是一種微型超高純度工業(yè)氣體 （IGS）/VCR174; 減壓型調(diào)壓器。 12 系列提供 5 Ra 或 10 Ra 微英寸的光潔度，采用束縛閥膜以及內(nèi)部無彈簧和無螺紋的設(shè)計。

規(guī)格

額定壓力

大進口壓力：
150 psig / 10.3 bar

大出口壓力：
250 mm Hg-15 psig / 250 mm Hg-1.0 bar
0-30、0-60、0-100 psig / 0-2.1、0-4.1、0-6.9 bar

材質(zhì)

閥體：316L VAR 不銹鋼
閥膜：Hastelloy®
閥座：PCTFE
閥桿：Hastelloy®
其他部件材質(zhì)：316L VAR 不銹鋼

工作溫度

-40°F 至 140°F / -40°C 至 60°C

連接件

焊接：1/4" VCR® 或管接頭
表面安裝：1.125" 或 1.50" 占用空間

流通能力

標準：Cv = 0.04 
高流量：Cv = 0.08

重量

VCR®、IGS：0.60 lb / 0.3 kg 
A 型：1.08 lb / 0.5 kg

功能

• 適用于高級 OEM 氣體系統(tǒng)的理想產(chǎn)品
• 高靈敏度壓力控制增強質(zhì)量流量控制器 （MFC） 性能
• 適用范圍廣，性能*
• 流量：2 SCFM 至 120 SLPM
• 在微型元件中提供的壓降和重復(fù)性
• 閥膜與閥體之間采用金屬對金屬密封，提供較好的密封性
• 內(nèi)部表面光潔度為 10 Ra 或 5 Ra 微英寸
• 符合 SEMI F19 和 SEMI 模塊化接口規(guī)格
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