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線上電子顯微鏡儀器簡介!
閱讀：1873 發(fā)布時間：2012-6-11
In-line SEM（線上型電子顯微鏡）-儀器簡介
設(shè)備編號：CF-L06
設(shè)備名稱：線上電子顯微鏡（In-line SEM）
放置位置：Class 10
機臺型號：HITACHI S-6280H
機臺功能
In-line SEM主要用途為線上產(chǎn)品線寬量測，又稱CD-SEM，其特點為WAFER無須經(jīng)過切片或鍍金屬膜等預(yù)處理步驟，即可觀察及量測光阻、絕緣層及金屬層等之圖案，本量測設(shè)備屬于非壞性檢測，量測完成之WAFER可以繼續(xù)進行下一制程步驟，因此稱為線上型電子顯微鏡。
本機臺僅能量測線寬，由于試片無法傾斜，因此無法觀察試片斷面，本機臺主要規(guī)格如下：
1. 加速電壓：0.7～1.3kv
2. 放射電流：3～20mA
3. 電子槍：冷陰極場發(fā)射電子源（CCFE）
4. 解析度：6 nm（GOLD）
5. 放大倍率：100X～150000X
6. 試片尺寸：6"晶圓 （平邊）
7. 影像旋轉(zhuǎn)：-50°～95°
8. 真空度：≦1×10-7Pa（電子源）
機臺的限制（材料，參數(shù)范圍等）
特殊注意事項：
1. 試片必須合于規(guī)定的尺寸及材質(zhì)，試片底材：Si，試片尺寸：6 inch,具有單一平邊。
2. 試片須完整，不可有缺角或裂紋。
3. 因電子腔內(nèi)為高度真空，故試片不得為揮發(fā)性物質(zhì)、不得為在電子束掃描時具揮發(fā)性之物質(zhì)。
4. 試片若含光阻，必須先做完硬烤（HARD BAKE），才可將試片送入。
5. 試片不得含有磁性物質(zhì)。
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