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單工位快速退火爐

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參考價 面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 型號 RTP-1200C-200-SL
  • 品牌 其他品牌
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
  • 所在地 合肥市
在線詢價 收藏產(chǎn)品

更新時間:2020-03-05 10:44:26瀏覽次數(shù):1457

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 價格區(qū)間 面議
升溫速度(達到最高溫) 1800/min 儀器種類 管式爐
應用領域 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),電子/電池
該款設備是由單端封口小型紅外滑軌爐、 電機調(diào)速裝置、高真空機組、進出氣口及操作控制界面組成,內(nèi)控熱電偶用于控制RTP滑軌爐內(nèi)的溫度,伺服電機用于控制絲桿的轉動速度達到精確控制爐管(樣品)移除爐膛的速度,從而用于調(diào)節(jié)爐管(樣品)的降溫速度,與之相反可以得到較快的升溫速率;出氣口通過連接手動擋板閥、波紋管用于對石英艙體內(nèi)的真空獲取,進氣口除用于通入保護氣體或反應氣體外,還可以用于移出爐膛后通入氣體帶走

詳細介紹

設備組成:單端封口小型紅外滑軌爐、 電機調(diào)速裝置、高真空機組、流量控制系統(tǒng)及工控電腦操作系統(tǒng)。

(1)單端封口小型紅外滑軌爐

加熱系統(tǒng)采用*制造工藝,造型新穎結構合理,爐體爐管可實現(xiàn)自動分離,爐體上下兩半設計,氣動彈簧支撐結構讓操作者可各角度自由打開,安全可靠。爐膽采用高密度純氧化鋁聚輕纖維材料真空吸附成型,表面涂覆高反射率的超高溫保護涂層,除能夠保持其能量的低損耗,還能增強高溫穩(wěn)定性,可有效減少熱能損耗。

該滑軌爐加熱系統(tǒng)由紅外燈管加熱,采用內(nèi)插熱電偶控溫的方式實時顯示石英腔體內(nèi)部溫度,加熱區(qū)長度為370mm,恒溫區(qū)長度200mm,確保兩個φ100*100mm的夾具可放置在恒溫區(qū)內(nèi),為讓樣品在爐管內(nèi)的中心位置,考慮石英置物架的高度,石英管管徑綜合考慮在210mm,恒溫區(qū)200mm內(nèi)的溫場均勻性控制在±5℃,升溫速率≤30℃/s, 整個石英腔體直接劃出爐膛,樣品降溫過程可在通入一定量保護氣體的條件下快速降溫,平均降溫速率可達到2℃/s 試樣反應區(qū)處在一個密閉的石英腔體內(nèi),在完成工藝的同時大大降低了間接污染試樣的可能性。采用石英管堵維持爐內(nèi)的溫場均勻性及石英艙體內(nèi)的潔凈度。

(2)電機調(diào)速裝置

伺服電機調(diào)速裝置用于控制絲桿的轉動速度,達到控制爐管部分的整體移動速度(含樣件),以此調(diào)整快速升降溫的目標速率,電機旋轉速度實時顯示并且精確可控,以獲得精確的移動速度,滿足降溫時工藝參數(shù)要求。

(3)高真空機組

   該高真空機組系統(tǒng)主要配備寧波鮑斯產(chǎn)DRV-10真空機械泵及KYKY的分子泵,空爐、冷態(tài)、潔凈、從泵啟動開始到100Pa 10min,壓升率≤5Pa/min。

1、 技術指標

        環(huán)境溫度:5~32

空氣相對濕度:≤85%

工作電壓:AC220V±10%  50/60HZ

功率:1KW

系統(tǒng)整體極限真空度:5.0×10-5Pa

實驗真空度:5.0×10-3Pa

2、 主要配置

(1) 機械泵:抽氣速率:4L/S;

                        容油量:1.1L;

                        電機功率:400W

(2) 分子泵抽氣速率:100L/S;

                        極限壓強:6×10-6Pa

                        啟動時間:<2min;

                        額定轉速:4300/

                        冷卻方式:環(huán)境溫度5-32時,風冷;

           (3)復合真空計測量路數(shù):2路(電阻規(guī)、電離規(guī)各1路)

工作模式:手動/自動;

電阻單元參數(shù)

規(guī)管型號:ZJ-52T電阻規(guī)

測量范圍:1.0×105Pa~1.0×10-1Pa

有效范圍:2.5×103Pa~5.0×10-1Pa

              電離單元參數(shù)

規(guī)管型號:ZJ-27電離規(guī)

可測范圍:5.0Pa~1.0×10-5Pa

有效范圍:1.0Pa~5.0×10-5Pa

規(guī)管除氣方式:焦耳去氣

4流量控制系統(tǒng)

該系統(tǒng)配置一路流量控制器,用于真空下的氣氛燒結,以及用于降溫過程中的通入一定量的氣體來達到目標降溫速率。

質(zhì)量流量控制器流量計標準量程:1000sccm,

                工作溫度5~45℃;

                工作壓差:0.1~0.5Mpa;

                大壓力:3Mpa;

                準確度:±1.5% FS±1.5% FS

5)工控電腦及操作系統(tǒng):

該系統(tǒng)人機界面加PLC控制,10寸液晶屏控制,顯示器可直接顯示真空度、氣體流量、熱電偶溫度、電機旋轉速度等信息。

(7)其他參數(shù):

1. 底座固定采用福馬輪旋轉方式,便于固定及移動;

2. 設備高度要求操作平臺離地高度700mm, 便于平臺操作。

3. 設備石英腔體內(nèi)樣品支撐架及固定夾具托盤等相關備附件由乙方提供。

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