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回轉(zhuǎn)CVD系統(tǒng)

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參考價(jià) 面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號(hào) BTF-1200C-III-R-CVD-150
  • 品牌 貝意克
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
  • 所在地 合肥市
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更新時(shí)間:2024-08-01 14:30:28瀏覽次數(shù):725

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該設(shè)備是定制回轉(zhuǎn)CVD系統(tǒng),可實(shí)現(xiàn)一次加3L粉料進(jìn)行生產(chǎn);從結(jié)構(gòu)上共分成主體設(shè)備、上料機(jī)構(gòu)、收料機(jī)構(gòu)三大模塊。

詳細(xì)介紹

回轉(zhuǎn)CVD系統(tǒng)

1、三段電阻絲加熱爐,加熱溫區(qū)300+300+300,上下6點(diǎn)獨(dú)立控溫,溫場(chǎng)均勻性好;

2、設(shè)備兩端配有磁流體密封法蘭,確保爐管能在真空條件下進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng);

3、設(shè)備配有螺旋上料機(jī)構(gòu),上料電機(jī)轉(zhuǎn)速可調(diào),可自由調(diào)節(jié)上料速度;

4、智能一體化工控屏顯示控制,操作界面簡(jiǎn)潔,方便使用。


回轉(zhuǎn)CVD系統(tǒng)

本臺(tái)定制回轉(zhuǎn)CVD設(shè)備,可實(shí)現(xiàn)一次加3L粉料進(jìn)行生產(chǎn);從結(jié)構(gòu)上共分成主體設(shè)備、上料機(jī)構(gòu)、收料機(jī)構(gòu)三大模塊。 一、主體CVD設(shè)備主體CVD設(shè)備主要包含加熱系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、爐管回轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)。1、加熱系統(tǒng):三溫區(qū)加熱爐膛,溫區(qū)長(zhǎng)度300+300+300mm,總加熱功率12KW。控溫?zé)犭娕紴镵型熱電偶,每段溫區(qū)爐膛上下各1個(gè)控溫點(diǎn)獨(dú)立控溫,提高爐膛溫場(chǎng)均勻性。2、氣路系統(tǒng):6路工作氣體,分別由5個(gè)D07-19B 500sccm N2和1個(gè)CS200A 500sccm N2質(zhì)量流量計(jì)控制進(jìn)入混氣罐,另外配置1路吹掃氣路,由1個(gè)D07-19B 5slm N2質(zhì)量流量計(jì)并聯(lián)接入混氣罐之前,可以對(duì)整個(gè)氣路系統(tǒng)進(jìn)行吹掃。3、真空系統(tǒng):采用BSV30真空泵,并配置PCG550真空計(jì)檢測(cè)腔體真空度。4、爐管回轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu):采用伺服電機(jī),并配置1:30減速機(jī),保證爐管回轉(zhuǎn)平穩(wěn)。 二、上料機(jī)構(gòu)上料機(jī)構(gòu)由螺桿送料器、升降機(jī)構(gòu)、滑動(dòng)滑軌組成,送料前通過(guò)搖動(dòng)渦輪升降器手柄可以調(diào)節(jié)螺桿送料器的送料螺桿的中心高度,與設(shè)備法蘭中心高度一致后,鎖緊升降器上方導(dǎo)柱的鎖緊手柄;可左右移動(dòng)送料螺桿至合適位置進(jìn)行送料。 三、收料機(jī)構(gòu)用真空泵將收料桶抽成真空狀態(tài),將收料桿深入設(shè)備內(nèi)部物料處,打開(kāi)收料桿上的球閥,利用真空負(fù)壓產(chǎn)生的吸力將物料吸入收料桶內(nèi)。


回轉(zhuǎn)CVD系統(tǒng)

額定功率

15KW(加熱12KW+真空泵1.5KW+電機(jī)1.5KW)

額定電壓

AC380V  50/60Hz

最高溫度

1200℃(<1h)

持續(xù)工作溫度

≤1100℃

推薦升溫速率

≤10℃/min

爐管尺寸

異型石英管

加熱區(qū)長(zhǎng)度

300+300+300mm

恒溫區(qū)

600mm

控溫方式

10寸觸控屏控制,模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié),智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報(bào)警功能

控溫精度

±1℃

加熱元件

電阻絲

爐體尺寸

主體設(shè)備:2600*960*1500mm

上料機(jī)構(gòu):1600*600*1500mm

設(shè)備凈重

600Kg



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