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安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司>>CVD系統(tǒng)>> BTF-1200C-SL-A等離子增加化學(xué)氣相沉積CVD系統(tǒng)

等離子增加化學(xué)氣相沉積CVD系統(tǒng)

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參考價 面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號 BTF-1200C-SL-A
  • 品牌 貝意克
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
  • 所在地 合肥市
在線詢價 收藏產(chǎn)品

更新時間：2024-08-15 11:39:01瀏覽次數(shù)：382

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產(chǎn)品簡介

BTF-1200C-SL-A是一款新型智能型滑軌等離子增加化學(xué)氣相沉積CVD系統(tǒng)。本設(shè)備集真空系統(tǒng)、供氣流量系統(tǒng)、自動推進(jìn)、加熱于一體，并將所有控制集成于觸屏操控界面之中，使設(shè)備更加智能化，便于使用者操作。溫度范圍寬：100-1200度可調(diào)，加熱區(qū)域長度：1650mm。適用范圍寬：金屬薄膜，陶瓷薄膜等，復(fù)合薄膜，連續(xù)生長各種薄膜等。

詳細(xì)介紹

一、設(shè)備簡介

BTF-1200C-SL-A是一款新型智能型滑軌CVD系統(tǒng)。本設(shè)備集真空系統(tǒng)、供氣流量系統(tǒng)、自動推進(jìn)、加熱于一體，并將所有控制集成于觸屏操控界面之中，使設(shè)備更加智能化，便于使用者操作。溫度范圍寬：100-1200度可調(diào)，加熱區(qū)域長度：1650mm。適用范圍寬:金屬薄膜，陶瓷薄膜等，復(fù)合薄膜，連續(xù)生長各種薄膜等。


二、技術(shù)參數(shù)

功率

3KW

額定電壓

AC 220V  50/60HZ

最高溫度

1200℃

工作溫度

1100℃

推薦升溫速率

10℃/min

空開大?。ㄗ詡洌?/span>

2P 40A

爐管尺寸

高純石英管Φ100*1400mm


等離子增加化學(xué)氣相沉積CVD系統(tǒng)

最大滑動距離

880mm

控溫方式

模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)，智能化30段可編程控制

控溫精度

±1℃

加熱元件

電阻絲

熱電偶

K型

質(zhì)量流量計

兩路500sccm+5000sccm

機(jī)械泵

10m3/h

設(shè)備凈重

約230Kg




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