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低溫等離子體(Plasma)應(yīng)用已經(jīng)是一個具有影響的重要的科學與工程,對高科技經(jīng)濟的發(fā)展及傳統(tǒng)工業(yè)的改造有著巨大的影響。不少微電子器件設(shè)備都采用等離子體清洗機;較多高分子材料都要經(jīng)過低溫等離子體的表面處理和改性。低溫等離子體清洗機廣泛用于半導體工業(yè)、聚合物薄膜、材料防腐蝕、等離子體電子學、等離子體合成、等離子體冶金、等離子體煤化工、等離子體三廢處理等領(lǐng)域。
等離子體清洗機的輔助加工工藝被用來制造特種優(yōu)良性能的新材料、研制新的化學物質(zhì)和化學過程,加工、改造和精制材料及其表面,等離子清洗機具有極其廣泛的工業(yè)應(yīng)用--從薄膜沉積、等離子體聚合、微電路制造到焊接、工具硬化、超微粉的合成、等離子體噴涂、等離子體冶金、等離子體化工、等離子體輔助加工
等離子體清洗機方向性不強,能夠處理各種形狀的物體,并且對于微孔和凹陷也能夠深入內(nèi)部進行精細化處理。等離子清洗機對材料也沒有限制,尤其適用于不耐熱和不耐溶劑的材料,處理效率非常高只需要幾分鐘即可。
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