等離子清洗機是一種非破壞性的表面處理設(shè)備，通過能量轉(zhuǎn)換技術(shù)在一定負壓狀態(tài)下，電能將氣體轉(zhuǎn)化為*活性的等離子體，等離子體輕柔沖刷固體樣品表面，引起分子結(jié)構(gòu)的改變，從而達到對樣品表面有機污染物進行超清洗，在極短時間內(nèi)有機污染物被外接真空泵抽走，其清洗能力可以達到分子級。在一定條件下等離子體也可使樣品表面特性發(fā)生改變。由于采用氣體作為清洗介質(zhì)，所以能有效避免樣品的再次污染。

等離子清洗機既能加強樣品的粘附性、相容性和浸潤性，也能對樣品進行殺毒和滅菌。

目前，等離子清洗機已廣泛應(yīng)用于光學(xué)、光電子學(xué)、電子學(xué)、材料科學(xué)、高分子、生物醫(yī)學(xué)、微觀流體學(xué)等領(lǐng)域。

等離子體清洗技術(shù)優(yōu)點是不分處理對象的基材類型，均可進行處理，對玻璃、金屬、半導(dǎo)體、氧化物和大多數(shù)高分子材料，如聚丙烯、聚脂、聚酰亞胺、聚氯乙烷、環(huán)氧、甚至聚四氟乙烯等都能很好地處理，并可實現(xiàn)整體和局部以及復(fù)雜結(jié)構(gòu)的清洗。 等離子體的”活性”組分包括：離子、電子、活性基團、激發(fā)態(tài)的核素（亞穩(wěn)態(tài)）、光子等。等離子體表面處理儀就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面，從而實現(xiàn)清潔、改性、光刻膠灰化等目的。