HORIBA SEC-E40（MK3）質(zhì)量流量控制器
概要
所謂質(zhì)量流量控制器是一種計(jì)測和控制流體流量的裝置。流體的流量計(jì)測通?？煞譃轶w積流量和質(zhì)量流量。體積流量由于受到計(jì)測時環(huán)境溫度和壓力的影響，如需要準(zhǔn)確測定時，必須對溫度和壓力進(jìn)行調(diào)整。而質(zhì)量流量計(jì)在測定流體質(zhì)量的時候，不容易受到環(huán)境溫度和壓力等外在因素的影響而能準(zhǔn)確地進(jìn)行流體測量。在必須對流量進(jìn)行計(jì)測和控制的領(lǐng)域，質(zhì)量流量控制器被廣泛的使用，例如半導(dǎo)體工業(yè)、太陽能光電工業(yè)和微加工制造業(yè)等。
工作原理
入口處進(jìn)來的氣體被分流到流量感應(yīng)器和旁路處。
通過感應(yīng)器得到按質(zhì)量流量比例形成的溫度變化信息，在回路中交換成 電力信號。
該信號通過增幅回路、修正回路，以 0~5V 的線形電力信號向外部輸出， 另一方面又輸入至比較控制回路中。
外部得到的設(shè)定信號和從感應(yīng)器處的到的流量信號在比較回路中形成差 異信號，再輸送至下一個的閥門驅(qū)動回路中。
流量控制閥門盡可能使該差異信號降為“0”，使流量一直控制在 設(shè)定流量。
特征
- 適用于寬廣范圍的流量控制，其控制范圍可以從0.2 SCCM到500 SLM（以N2為標(biāo)準(zhǔn)）
- 被廣泛的使用于的制造業(yè)，從一般工業(yè)到高科技產(chǎn)業(yè)。
制造: HORIBA STEC
HORIBA SEC-E40（MK3）質(zhì)量流量控制器
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