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昆山熙日機械設(shè)備有限公司

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日本愛發(fā)科標(biāo)準(zhǔn)低溫真空泵CRYO-U6H維修保養(yǎng)

訂       金: 150000

訂  貨  量: ≥1 

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號CRYO-U6H

品牌ULVAC/日本愛發(fā)科

廠商性質(zhì)其他

所在地蘇州市

更新時間:2019-02-10 10:08:31瀏覽次數(shù):1224次

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泵軸位置 其他 抽氣速率 450l/s
極限壓力 10-7pa 流量 1.3×103m3/h
輸送介質(zhì) 其他 葉輪數(shù)目 其他
能發(fā)揮4型的低溫泵的高排氣特性。高排氣速度對于排氣效率與生產(chǎn)性提高都能做出貢獻。特別適用在半導(dǎo)體制造的濺射工藝裝置和小規(guī)模的裝置上。1臺壓縮機可以支持4臺低溫泵同時運作。可以按照用途的不同進行設(shè)計、制作。日本愛發(fā)科標(biāo)準(zhǔn)低溫真空泵CRYO-U6H維修保養(yǎng)

日本愛發(fā)科標(biāo)準(zhǔn)低溫真空泵CRYO-U6H維修保養(yǎng)?

標(biāo)準(zhǔn)低溫泵 [6型]
CRYO-U6H

vap

 

特點

  • 能發(fā)揮4型的低溫泵的高排氣特性。
  • 高排氣速度對于排氣效率與生產(chǎn)性提高都能做出貢獻。
  • 特別適用在半導(dǎo)體制造的濺射工藝裝置和小規(guī)模的裝置上。
  • 1臺壓縮機可以支持4臺低溫泵同時運作。
  • 可以按照用途的不同進行設(shè)計、制作。
  • 日本愛發(fā)科標(biāo)準(zhǔn)低溫真空泵CRYO-U6H維修保養(yǎng)?

外形尺寸 (單位:mm)

    標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格

    排気速度(20℃)氮氣L/s450
    氫氣500
    氬氣370
    1,100
    到達圧力Pa10-7
    大流量氬氣Pa?L/s1.3×103
    排気容量氬氣Pa?L1.0×107
    氫氣1.5×105
    冷卻降下時間min(50/60Hz)45/50
    質(zhì)量Kg14.5

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    作為干泵技術(shù)的,Edwards 在嚴(yán)苛制程真空應(yīng)用(包括粉塵和制程污染

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