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◇ 半浸沒式物鏡
半浸沒式物鏡在樣品周圍形成強磁場，因而可以獲得超高分辨率。
◇ High Power Optics
High Power Optics 是*的電子光學系統(tǒng)，既實現(xiàn)了高倍率觀察又能進行多種分析。
浸沒式肖特基場發(fā)射電子槍，可以獲得10 倍于傳統(tǒng)肖特基場發(fā)射電子槍（FEG）的探針電流，最佳光闌角控制鏡（ALC）在探針電流增大時也能保持小束斑，兩者組合起來能提供200 nA 以上的探針電流。強大的High Power Optics 系統(tǒng)，從高倍率圖像觀察到EDS分析和EBSD 解析可以一直使用高分辨率的最小物鏡光闌而不需要改換。
浸沒式肖特基場發(fā)射電子槍銃
浸沒式肖特基場發(fā)射電子槍通過和低像差聚光鏡組合，可以有效地收集從電子槍內發(fā)射的電子。
最佳光闌角控制鏡（ACL）
最佳光闌角控制鏡（ACL）配置在物鏡的上方，在整個探針電流范圍內自動優(yōu)化物鏡光闌的角度。因此，即使照射樣品的探針電流很大，與傳統(tǒng)方式相比，也能獲得很小的電子束斑。
即使探針電流很大，束斑直徑也很小
長時間分析時穩(wěn)定度也很高
◇ 柔和電子束（GB:GENTLEBEAMTM）模式
GB 模式的效果
GB 模式在低電壓下提高分辨率
左圖一般模式，右圖GB模式
增強了的低加速電壓下的分辨率
◇ r-過濾器
◇ LABE檢測器（選配件）
利用LABE 檢測器獲取低角度背散射電子像
◇ 擴展性
能譜儀（EDS）
波譜儀（WDS）
陰極熒光系統(tǒng)（CL）
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