国产精品视频一区二区三区四,亚洲av美洲av综合av,99国内精品久久久久久久,欧美电影一区二区三区电影

| 注冊| 產(chǎn)品展廳| 收藏該商鋪

行業(yè)產(chǎn)品

當(dāng)前位置:
江蘇澤源生物科技有限公司>>技術(shù)文章>>光刻工藝技術(shù)基礎(chǔ)-涂膠

光刻工藝技術(shù)基礎(chǔ)-涂膠

閱讀:5861        發(fā)布時間:2017-8-22

光刻工藝技術(shù)基礎(chǔ)-涂膠

涂膠

1.靜態(tài)滴膠

2.旋轉(zhuǎn)鋪開

3.甩掉多余的膠

4.溶劑揮發(fā)

涂膠過程

勻膠后在襯底邊緣處會形成較厚的邊(邊珠效 應(yīng),這會影響到光刻的圖形精度)。

可在涂膠 過程中加入去邊及背噴工藝( PGMEA、 EGMEA 為常用去邊液)。

去邊過程

涂膠成膜過程中各種案例分析

 

1.表面出現(xiàn)氣泡

滴膠時,膠液中混有氣泡

噴嘴有問題或者噴嘴不規(guī)整

 

 

2.放射狀條紋

膠液噴射速度過高,設(shè)備排氣速度過高

滴膠過后靜止時間過長

勻膠轉(zhuǎn)速或者加速度設(shè)置過高

基片前處理不到位有顆粒殘留或者膠液中有顆粒

3.中心漩渦圖案

設(shè)備排氣速度過高

滴膠時偏離襯底中心

勻膠旋涂時間過長

 

4.中心元暈

不適合的托盤

滴膠噴嘴偏離基片中心

 

 

5.膠液未涂滿襯底

膠液量不足

勻膠旋涂速度過低或過高

 

 

6.針孔

膠液中存在顆?;蛘邭馀?/p>

基片襯底前處理不*表面存在顆粒

 

 

 

 

收藏該商鋪

登錄 后再收藏

提示

您的留言已提交成功!我們將在第一時間回復(fù)您~
二維碼 意見反饋
在線留言
资溪县| 西贡区| 盐亭县| 滕州市| 新宾| 皮山县| 三江| 镇雄县| 张掖市| 岑溪市| 分宜县| 南涧| 井冈山市| 突泉县| 三门峡市| 仲巴县| 宁晋县| 句容市| 金寨县| 察隅县| 墨玉县| 西和县| 阿瓦提县| 额敏县| 巨鹿县| 鄯善县| 顺平县| 乐亭县| 沙田区| 合作市| 措美县| 邓州市| 扎鲁特旗| 且末县| 韶关市| 肇源县| 勐海县| 龙州县| 克山县| 涪陵区| 宁河县|