APM-HB03HBH-GY

韓國(guó)邁克彼恩Mecapion ，其前身為韓國(guó)麥特斯Metronix 株式會(huì)社成立于1995年，于2007年3月份正式更名為邁克彼恩Mecapion，是韓國(guó)zui大的自動(dòng)化設(shè)備及機(jī)械裝置方面的核心部件即旋轉(zhuǎn)編碼器、伺服系統(tǒng)等產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)研制、生產(chǎn)、銷售和售后服務(wù)的優(yōu)良企業(yè)，并獲得了ISO9001質(zhì)量體系認(rèn)證。開(kāi)發(fā)完成半導(dǎo)體設(shè)備8‘’及12‘’晶圓用 spinner電機(jī)適用于涂膠，顯影及清洗工程

實(shí)現(xiàn)率瞬間加速特性-100.000rps以上

可根據(jù)客戶的要求，定做各種SPinner電機(jī)

按照客戶的要求提供多種中空軸

采用磁性流體密封，強(qiáng)化耐環(huán)境性

表面進(jìn)行特殊涂布處理，強(qiáng)化耐腐蝕性

應(yīng)用范圍：

　　1，半導(dǎo)體制造工業(yè)

　　2，設(shè)備應(yīng)用

　　A.曝光顯影設(shè)備(涂膠，顯影)光刻加工程序的主要設(shè)備及掌控涂層，曝光，顯影。

　　B.清洗、蝕刻設(shè)備用于蝕刻，清洗，去膜設(shè)備。

　　C.清洗設(shè)備適用于物理沖洗清潔、顆粒清洗刷子、聲控及噴霧工藝。

　　技術(shù)含量

　　設(shè)備條件

　　高轉(zhuǎn)速(5000rpm~8000rpm)真空軸

　　加/減速時(shí)間冷卻系統(tǒng)(水冷系統(tǒng))

　　低噪音和振動(dòng)zui低公差

　　中空軸尺寸zui小化處理按照客戶需求柔性定制

　　采用重疊設(shè)計(jì)是尺寸zui小化