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半導(dǎo)體特氣檢漏儀

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  • 型號(hào) 703
  • 品牌
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
  • 所在地 常州市
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更新時(shí)間:2023-12-18 20:35:07瀏覽次數(shù):1056

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半導(dǎo)體特氣檢漏儀

詳細(xì)介紹

型號(hào):XP-703D 

  (自動(dòng)吸引式) 

  半導(dǎo)體特氣檢漏儀  

特點(diǎn):

    ¬       于檢測(cè)半導(dǎo)體特氣的微量泄漏。

    ¬采用聲光報(bào)警。

  規(guī)格

型       號(hào)

XP-703D

檢測(cè)對(duì)象氣體

半導(dǎo)體材料氣體(胂、膦、乙硼烷、硅烷、氫氣等)

檢測(cè)原理

型半導(dǎo)體式

采樣方式

自動(dòng)吸引式

可檢測(cè)濃度

(單位:ppm)

砷烷    磷烷    乙硼烷     硅烷     氫氣

AsH3    PH3       B2H6      SiH4       H2

0.2     0.3     0.1        0.5        1.0

檢測(cè)表示

蜂鳴器斷續(xù)鳴響及指示燈閃爍

應(yīng)答速度

10秒以內(nèi) 

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