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文章整理的電子工業(yè)用氣體國標列表：

GBT 14604-2009 電子工業(yè)用氣體氧

GBT 16944-2009 電子工業(yè)用氣體氮

GBT 14601-2009 電子工業(yè)用氣體氨

GBT 16942-2009 電子工業(yè)用氣體氫

GBT 16945-2009 電子工業(yè)用氣體氬

GBT 16943-2009 電子工業(yè)用氣體氦

GBT 14602-2014 電子工業(yè)用氣體氯化氫

SJT 11517-2015 電子工業(yè)用氣體一氧化碳

GBT 14600-2009 電子工業(yè)用氣體氧化亞氮

GBT 34085-2017 電子工業(yè)用氣體三氟甲烷

GBT 31987-2015 電子工業(yè)用氣體鍺烷

GBT 33774-2017 電子工業(yè)用氣體丙烯

GBT 34091-2017 電子工業(yè)用氣體六氟乙烷

GBT 18867-2014 電子工業(yè)用氣體六氟化硫

GBT 31986-2015 電子工業(yè)用氣體八氟丙烷

除以上資源外，“資源包"還含有以下國標：

GB∕T 32386-2015 電子工業(yè)用氣體六氟化鎢

GBT 14603-2009 電子工業(yè)用氣體 san氟化硼

GBT 14851-2009 電子工業(yè)用氣體磷化氫

GBT 15909-2017 電子工業(yè)用氣體硅烷

GBT 18994-2014 電子工業(yè)用氣體高純氯

GBT 17874-2010 電子工業(yè)用氣體三氯化硼

GBT 21287-2007 電子工業(yè)用氣體三氟化氮

GBT 26249-2010 電子工業(yè)用氣體硒化氫

GBT 26250-2010 電子工業(yè)用氣體砷化氫

GBT 31058-2014 電子工業(yè)用氣體四氟化硅

GBT 34091-2017 電子工業(yè)用氣體六氟乙烷

※以上資料均來源于網絡，經HORIBA整理。

HORIBA用于電子工業(yè)用氣體純度/不純物

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