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常見的電子工業(yè)用氣體國家標(biāo)準(zhǔn)指標(biāo)整理

閱讀：5097        發(fā)布時(shí)間：2022-8-4

文章整理的電子工業(yè)用氣體國標(biāo)列表：

GBT 14604-2009 電子工業(yè)用氣體 氧
GBT 16944-2009 電子工業(yè)用氣體 氮
GBT 14601-2009 電子工業(yè)用氣體 氨
GBT 16942-2009 電子工業(yè)用氣體 氫
GBT 16945-2009 電子工業(yè)用氣體 氬
GBT 16943-2009 電子工業(yè)用氣體 氦
GBT 14602-2014 電子工業(yè)用氣體 氯化氫
SJT 11517-2015 電子工業(yè)用氣體 一氧化碳
GBT 14600-2009 電子工業(yè)用氣體 氧化亞氮
GBT 34085-2017 電子工業(yè)用氣體 三氟甲烷
GBT 31987-2015 電子工業(yè)用氣體 鍺烷
GBT 33774-2017 電子工業(yè)用氣體 丙烯
GBT 34091-2017 電子工業(yè)用氣體 六氟乙烷
GBT 18867-2014 電子工業(yè)用氣體 六氟化硫
GBT 31986-2015 電子工業(yè)用氣體 八氟丙烷

除以上資源外，“資源包"還含有以下國標(biāo)：
GB∕T 32386-2015 電子工業(yè)用氣體 六氟化鎢
GBT 14603-2009 電子工業(yè)用氣體 san氟化硼
GBT 14851-2009 電子工業(yè)用氣體 磷化氫
GBT 15909-2017 電子工業(yè)用氣體 硅烷
GBT 18994-2014 電子工業(yè)用氣體 高純氯
GBT 17874-2010 電子工業(yè)用氣體 三氯化硼
GBT 21287-2007 電子工業(yè)用氣體 三氟化氮
GBT 26249-2010 電子工業(yè)用氣體 硒化氫
GBT 26250-2010 電子工業(yè)用氣體 砷化氫
GBT 31058-2014 電子工業(yè)用氣體 四氟化硅
GBT 34091-2017 電子工業(yè)用氣體 六氟乙烷
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※以上資料均來源于網(wǎng)絡(luò)，經(jīng)HORIBA整理。



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