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| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,能源,電子/電池,紡織/印染 |
產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
尼康旗下的NIKON INSTECH公司(總部：東京)將推出高度分辨率達(dá)到1pm的光干涉顯微鏡系統(tǒng)“BW-M7000”(圖1)。該系統(tǒng)可高速高精度測定高度范圍從亞納米級到毫米級的表面性狀(材料表面圖案及粗糙度、表面上的微小落差等)。
表面性狀測定采用尼康自主開發(fā)的方式——“FVWLI(Focus Variation with White Light Interferometry)法”。該方法可使對象材料的表面生成干涉紋，高精度決定各像素的焦點位置。通過使用這種方式，可在2.5倍(視野4.4×4.4mm)至100倍(視野111.0×110.0μm)的所有倍率下實現(xiàn)三維算數(shù)平均高度(Sa)為0.1nm級別的表面性狀評估。能夠以單一模式測定超平滑表面到粗糙表面，無需更換光學(xué)濾光片等部件。另外，在測定膜厚時使用光譜干涉法。能以不到0.1秒的時間測定厚度為1nm～40μm的透明薄膜的厚度。
可通過程序控制手段實現(xiàn)全自動測定，能夠自動實施對焦、調(diào)整樣品的傾斜、判斷是否合格等操作。可自動測定多個視野，除了材料研發(fā)一線之外，還可輕松用于品質(zhì)管理及*現(xiàn)場。
CNC尼康顯微鏡BW-M7000顯微鏡配備最大行程為300×300mm的電動XY軸載物臺，以及最大行程為200mm的電動Z軸變焦載物臺?？蓽y定半導(dǎo)體、LED、薄膜材料、高分子材料、精密機械加工部件等多種樣品(圖2、圖3)。在測定鉆頭*的表面形狀時，可用夾具保持其直立固定狀態(tài)。
