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東莞市廣聯(lián)自動(dòng)化科技有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品： HYDAC壓力開關(guān),BURKERT電磁閥,WAUKEE流量計(jì),ATOS油泵,德國(guó)REXROTH電磁換向閥，BERNSTEIN傳感器 |
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德國(guó)萊寶真空泵COOLVAC系列低溫泵是利用低溫表面冷凝氣體的真空泵，又稱冷凝泵。低溫泵可以獲得抽氣速率zui大、極限壓力zui低的清潔真空，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體和集成電路的研究和生產(chǎn)，以及分子束研究、真空鍍膜設(shè)備、真空表面分析儀器、離子注入機(jī)和空間模擬裝置等方面。
德國(guó)萊寶真空泵COOLVAC系列低溫泵的抽氣原理：
在低溫泵內(nèi)設(shè)有由液氦或制冷機(jī)冷卻到極低溫度的冷板。它使氣體凝結(jié)，并保持凝結(jié)物的蒸汽壓力低于泵的極限壓力，從而達(dá)到抽氣作用。低溫抽氣的主要作用是低溫冷凝、低溫吸附和低溫捕集。①低溫冷凝：氣體分子冷凝在冷板表面上或冷凝在已冷凝的氣體層上，其平衡壓力基本上等于冷凝物的蒸氣壓。抽空氣時(shí)，冷板溫度必須低于25K；抽氫時(shí)，冷板溫度更低。低溫冷凝抽氣冷凝層厚度可達(dá)10毫米左右。②低溫吸附：氣體分子以一個(gè)單分子層厚(10-8厘米數(shù)量級(jí))被吸附到涂在冷板上的吸附劑表面上。吸附的平衡壓力比相同溫度下的蒸氣壓力低得多。如在20K時(shí)氫的蒸氣壓力等于大氣壓力，用20K的活性炭吸氫時(shí)吸附平衡壓力則低于10-8帕。這樣就可能在較高溫度下通過低溫吸附來進(jìn)行抽氣。③低溫捕集：在抽氣溫度下不能冷凝的氣體分子，被不斷增長(zhǎng)的可冷凝氣體層埋葬和吸附。
德國(guó)萊寶真空泵COOLVAC系列低溫泵的類型：
注入式液氦低溫泵
主要由液氦容器、泵體和連接擋板的液氮腔體等部分組成。為了減少液氦消耗，液氦容器的外壁采用雙層保溫壁并在其間抽成真空。當(dāng)泵被預(yù)抽到10-6帕壓力時(shí)灌入液氮和液氦，氣體凝結(jié)在4.2K的工作冷板上。經(jīng)預(yù)抽使氦氫分壓到10-12帕數(shù)量級(jí)，故泵可獲得10-11帕以下的極限壓力。如果把液氦容器抽真空減壓到6650帕，液氦溫度可降到2.3K，則可得到更低的極限壓力。
閉路循環(huán)氣氦制冷機(jī)低溫泵
它是70年代出現(xiàn)的新型低溫泵（圖）。這種泵不消耗氦氣、操作簡(jiǎn)便，易于維修，應(yīng)用日漸廣泛。制冷機(jī)的制冷介質(zhì)為氣氦，一級(jí)冷板溫度為50～100K，典型應(yīng)用是65K,用來冷凝水蒸汽和預(yù)冷其他氣體;二級(jí)冷板溫度為10～20K，用來冷凝氮、氧和氬等氣體。在二級(jí)冷板的內(nèi)表面涂以活性炭。活性炭的比表面積為500～2500米2/克，在低溫下對(duì)氦、氖和氫有很強(qiáng)的吸附能力。冷板由無氧銅制成，表面拋光達(dá)到鏡面程度，以減小輻射系數(shù)。泵的極限壓力為10-7～10-8帕，工作壓力范圍為10-1～10-7帕，要求預(yù)抽壓力為1帕。制成的產(chǎn)品抽氣速率已達(dá)60000升/秒（1升=10-3米3）。此外，尚可根據(jù)工藝的特點(diǎn)把抽氣冷板安排在被抽容器內(nèi)，其抽氣速率可達(dá)到106升/秒以上。
德國(guó)萊寶真空泵COOLVAC系列低溫泵部分型號(hào)參考：
COOLVAC800
COOLVAC800BL
COOLVAC800CL
Coolvac1500
COOLVAC1.500CL
COOLVAC2.000CL
COOLVAC3.000CL
COOLVAC5.000CL
COOLVAC10.000CL
COOLVAC18.000CL
COOLVAC30.000CL
