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NANO-MASTER（那諾-馬斯特）Platens樣品臺(tái)，又稱為基板或加熱板，是真空鍍膜設(shè)備中常用到關(guān)鍵部件。因此樣品臺(tái)可以整合到RIE刻蝕、ICP刻蝕、PE...
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