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北京漢默科技有限公司
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艾里卡特MCE系列質量流量控制器助力精密真空鍍膜氣體流量控制

時間:2017/9/26閱讀:3357
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艾里卡特MCE系列質量流量控制器集成于的真空設備供應商MDC Vacuum Products, LLC公司的XpressStick™系列質量流量控制器氣體棒中。能精密控制氣體流量上至20SLPM、自帶屏幕顯示的MCE系列質量流量控制器使得氣體連接模塊帶有氣體編輯程序功能,從而直接將壓縮氣體通入真空腔體內。

艾里卡特MCE系列質量流量控制器的測量與控制量程范圍從0-0.5 sccm一直到0-20 slpm,僅需20~50毫秒即可到達設定值流量,有效消除了于真空鍍膜過程中的靶材中毒。

XpressStickRelease一體式設計的XpressStick質量流量控制器氣體棒消除了原本包括氣體混合、壓力控制、精密調節(jié)、真空腔等復雜的硬件系統(tǒng),其精密的氣體流量控制系統(tǒng)使得用戶完成全套真空鍍膜過程只需簡單的一個步驟。專門設計用于高純真空應用的XpressStick質量流量控制器氣體棒也有適用于腐蝕性氣體的不銹鋼材質系列。

艾里卡特MCE系列質量流量控制器無需預熱、瞬間啟動的特點使得XpressStick在短短一秒鐘內就能開始控制真空鍍膜過程系統(tǒng)的流量,實時測量顯示質量流量、體積流量、壓力和溫度參數(shù),并將運用溫度與壓力對流量參數(shù)進行充分補充。氣體模塊程序直接通過艾里卡特MCE系列質量流量控制器自帶的屏幕顯示,并可直接通過屏幕按鈕操作切換氣體種類。

MDC Vacuum Products, LLC公司副總裁James Moore表示:“控制響應速度快、度高、性能可靠是我們選擇質量流量控制器合作品牌的關鍵因素。根據(jù)過往使用Alicat質量流量控制器的經驗,我們十分確定Alicat能全部滿足以上三點因素,并且Alicat質量流量控制器自帶屏幕顯示,方便于我們的一體化設計。”

艾里卡特質量流量控制器、壓力控制器、真空氣體流量控制器廣泛應用于真空鍍膜領域。

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