質(zhì)量流量控制器，其原理如下：

“在直徑較細(xì)的感應(yīng)管中放置兩對加熱器，并將其控制在同一溫度。當(dāng)流體流動時，氣體將上游的部分熱量帶給下游，而下游的加熱器從上方獲取熱量溫度上升。這時，利用上下加熱器之間產(chǎn)生的溫度差和流體的質(zhì)量流量成比例的原理，來測定流量。”（附：qm=KCpA△T Cp定壓比熱容 A測量管繞組（即加熱系統(tǒng)）與周圍環(huán)境熱交換系統(tǒng)之間的熱傳導(dǎo)系數(shù)； K -------儀表常數(shù)）

想像一下……放置兩臺電熱器，用一條線將兩臺電熱器連接起來，自己坐在線的中點(diǎn)處交叉的直角線上，很暖和。兩臺電熱器發(fā)散同樣的熱量，你坐在離兩臺電熱器同等距離的正中間位置，接受雙方的熱量，是溫度高的地方。在這個炎熱的季節(jié)，說這樣的話，真是熱得無法忍受啊…… 這時，在側(cè)面加一個電風(fēng)扇，離電風(fēng)扇近的一方發(fā)散出來的熱，被吹到遠(yuǎn)一點(diǎn)的電熱器，你坐的地方也會覺得稍微涼一些。風(fēng)扇吹得越快就越?jīng)隹臁?這和熱式感應(yīng)管中的道理一樣，風(fēng)扇的強(qiáng)度（風(fēng)量）=氣體的流量。反過來，要想檢測流量的話，可以說“測量一下氣體流過的時候兩臺電熱器之間移動的熱量即可”

氣體質(zhì)量流量控制器用途

1. 鍋爐、裂解爐用燃料氣質(zhì)量流量測量控制；

2. 石油化工、采油、火炬氣質(zhì)量流量測量；

3. 燃燒爐用空氣質(zhì)量流量測量控制;燃汽輪機(jī)氫氣質(zhì)量流量和控制；

4. 食品加工及飲料氣體質(zhì)量流量和控制；

5. 水廠cl2質(zhì)量流量控制；

6. 生產(chǎn)半導(dǎo)體時高純度氣體質(zhì)量流量測量；

7. 催化劑、化學(xué)添加劑質(zhì)量流量測量；

8. 泵的保護(hù)控制、泵密封、潤滑油池泄漏檢測；

9. 空調(diào)系統(tǒng)控制；

10. 儀表用空氣、工藝空氣、氮?dú)獾荣|(zhì)量流量測量。

11. 氣體分析儀，大氣采樣器

12. 泄露監(jiān)測

13. 氣體分配系統(tǒng)

14. 實(shí)驗(yàn)室氣體測量

15. 醫(yī)學(xué)應(yīng)用

16. 燃料電池

17. 應(yīng)用氣體：Air, O2, N2, He, Ar, CO2, H2, CH4, C3H8, N2O, SF6, C3H6, CO, C4H10, 等絕大多數(shù)氣體。

實(shí)際使用中發(fā)現(xiàn)，當(dāng)輸入的氣體不同時控制顯示的數(shù)值與實(shí)際不符，其實(shí)原因很簡單，因?yàn)樵贛FC行業(yè)中，有一種參數(shù)叫CF，即氣體轉(zhuǎn)換系數(shù)（下面簡稱CF）。而MFC行業(yè)中又把N2（氮?dú)猓┒x為標(biāo)準(zhǔn)氣體M。N2的C值為1.00，其他的氣體以氮?dú)鉃橹行?，分布?.1到1.4左右。

CF大于1.00的代表氣體是單原子氣體He(氦)、Ar(氬)、Kr(氪)、Xe(氙)。和N2相近的氣體有02（氧氣）、H2（氫氣）、F2（氟）等。0.5以下的有SF6、WF6、SiCl4等。如果是幾種氣體的混合在一起的話，簡單的分析其比率，用各自的CF值計(jì)算即可。